![]() |
الاسم التجاري: | ROYAL |
رقم الطراز: | RTAS1215 |
الـ MOQ: | 1 مجموعة |
السعر: | قابل للتفاوض |
شروط الدفع: | L/C, D/A, D/P, T/T |
القدرة على التوريد: | 6 مجموعات شهريا |
AlN رقائق النحاس نظام ترسب الرذاذ، نتريد الألومنيوم PVD النحاس آلة الرذاذ
الأداء
1ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10-6(تور)
2ضغط الفراغ: 1.0×10-4(تور)
3وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10-4إشعال ≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4المواد المعدنية (التدفق + تبخر القوس): Ni، Cu، Ag، Au، Ti، Zr، Cr الخ
5نموذج التشغيل: كامل تلقائي / نصف تلقائي / يدوي
الهيكل
يحتوي آلة طلاء الفراغ على النظام المكتمل الرئيسي المذكور أدناه:
1غرفة الفراغ
2نظام ضخ الفراغ الخام (حزمة مضخة الظهر)
3نظام ضخ الفراغ العالي (ضخ جزئي معلق مغناطيسي)
4نظام التحكم والتشغيل الكهربائي
5نظام المرافق المساعدة (النظام الفرعي)
6نظام التسجيل
أهم الخصائص الخاصة بجهاز طلاء الرصاص النحاسي
1مجهزة بـ 8 كاثودات قوس إدارة و كاثودات DC Sputtering و كاثودات MF Sputtering و وحدة مصدر الأيونات
2- طبقة متعددة وتغطية مشتركة متاحة
3مصدر الأيونات لمعالجة قبل التنظيف بالبلازما والترسب بمساعدة شعاع الأيونات لتعزيز تماسك الفيلم.
4وحدة تسخين الأساسات السيراميكية/ Al2O3/AlN
5نظام تدوير ودورة القالب ، لطلاء جانب واحد وطلاء جانبين.
مصنع غطاء كوبر المغناطيسي على الركيزة السيراميكية المشعة
عملية DPC - التصفية المباشرة للنحاس هي تقنية طلاء متقدمة تطبق مع صناعات LED / أشباه الموصلات / الإلكترونية. أحد التطبيقات النموذجية هو الركيزة السيراميكية المشعة.
ترسب فيلم كوبر موصل على Al2O3 ، AlN الركائز بواسطة تكنولوجيا PVD الفراغ ، مقارنة مع طرق التصنيع التقليدية: DBC LTCC HTCC ،تكلفة الإنتاج المنخفضة بكثير هي ميزتها العالية.
فريق التكنولوجيا الملكية ساعد عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح مع تكنولوجيا التنقيط PVD.
آلة RTAC1215-SP مصممة حصراً لتغطية الفيلم الموصل من النحاس على رقائق السيراميك، لوحات الدوائر السيراميكية.
الرجاء الاتصال بنا لمزيد من المواصفات، تكنولوجيا الملكية يشرفنا لتوفير لكم حلول الطلاء الكاملة.