AlN Chips Copper Sputtering Depostion System ، آلة رش نيتريد الألومنيوم PVD
أداء
1. ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10-6 تور.
2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10-4 تور.
3. وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، حجرة جافة ونظيفة وفارغة)
4. المواد المعدنية (الاخرق + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr إلخ.
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي
بنية
تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مذكور أدناه:
1. غرفة فراغ
2. نظام الضخ بالفراغ Rouhging (حزمة مضخة دعم)
3.نظام ضخ الفراغ العالي (مضخة جزيئية بتعليق مغناطيسي)
4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي
5. نظام التسهيلات الخارجية (النظام الفرعي)
6. نظام الترسيب
ميزات آلة طلاء النحاس الاخرق
1. مُجهزة بـ 8 كاثودات قوس توجيه و كاثودات ترشيح بالتيار المستمر ، كاثودات رشاش MF ، وحدة مصدر أيون
2. طلاء متعدد الطبقات وطلاء مشترك متوفر
3. مصدر أيوني لتنظيف البلازما قبل المعالجة والترسيب بمساعدة شعاع الأيونات لتعزيز التصاق الفيلم.
4. وحدة تسخين ركائز سيراميك / Al2O3 / AlN ؛
5. دوران الركيزة ونظام الدوران ، لطلاء جانب واحد وطلاء من جانبين.
مصنع كوبر للطلاء بالرش المغنطرون على ركيزة مشعة من السيراميك
عملية DPC- الطلاء المباشر بالنحاس هي تقنية طلاء متقدمة مطبقة مع الصناعات الإلكترونية / أشباه الموصلات / LED.أحد التطبيقات النموذجية هو الركيزة المشعة للسيراميك.
ترسيب الفيلم الموصّل من Cooper على ركائز Al2O3 و AlN بواسطة تقنية رش الفراغ PVD ، مقارنةً بطرق التصنيع التقليدية: DBC LTCC HTCC ، تكلفة الإنتاج المنخفضة جدًا هي ميزتها العالية.
ساعد فريق التكنولوجيا الملكي عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح باستخدام تقنية PVD الاخرق.
آلة RTAC1215-SP مصممة حصريًا لطلاء الفيلم النحاسي الموصّل على رقائق السيراميك ، لوحة الدوائر الخزفية.
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتزويدك بحلول الطلاء الكاملة.
