معدات ترسب الاخرق المغنطروني ، آلة طلاء الذهب الحقيقي 24K

مشاهدة الشريط فراغ طلاء المعدات MF / DC الاخرق الكاثود

حزام الساعة معدات طلاء الفراغ

Keywords: PVD الطلاء الصلب ، عملية PECVD ، فيلم DLC ، الماس مثل فيلم الكربون ، فيلم الاخرق بصري ، Gencoa Magnetron الاخرق الكاثود ، ايون المصدر ، PA PVD

RTAC950-SP ميزات التصميم:

• المرونة: يتم توحيد موصلات القوس والمصدر ، وأجهزة تحديد مصدر الأيونات الخطية من أجل التبادل المرن
• تعدد الاستخدامات: متوفر للحصول على تشكيلة متنوعة من المعادن الأساسية والسبائك ، والطلاء البصري والطلاء الصلب ، والطلاء الناعم. الأفلام المركبة وأفلام التشحيم الصلبة على ركائز المواد المعدنية وغير المعدنية
• تصميم مستقيم للأمام: هيكل ثنائي الباب ، فتح أمامي وخلفي لسهولة الصيانة.

المواصفات الفنية

• أداء

1. في نهاية المطاف فراغ الضغط: أفضل من 8.0 * 10 ^{- 4} باسكال ؛

• ضغط الفراغ الأساسي: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. ضخ الوقت: من atm إلى 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)

4. مصدر الترسيب: Gencoa magnetron الأخرق الاقطاب ، كاثود قوس موجه ، ايون المصدر

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي

6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة تصل إلى الحد الأقصى. 500 ℃،

9. مصدر أيون لعملية PECVD و PAD PVD.

• بناء

تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مدرج أدناه:

1. غرفة فراغ
1.1 الحجم: عمق الداخلي 950mm

الطول الداخلي: 1350mm

1.2 المواد: غرفة فراغ SUS304

الباب والشفاه SUS304

هيكل تعزيز الغرفة: الفولاذ الطري SS41 ، مع معالجة السطح التشطيب المطلي.

هيكل الغرفة الفولاذ المقاوم للصدأ SS41 مع الانتهاء من طلاء سطح المعالجة.

1.3 درع الغرفة: SUS304

1.4 نافذة عرض: على أبواب الغرفة -2

1.5 صمام تنفيس غرفة الفراغ (بما في ذلك كاتم الصوت)

1.6 باب: 2 مجموعات ، الأمامي والخلفي ، المواد SUS304

2. تخشين نظام ضخ الفراغ:
مضخة دوارة فراغ مضخة دوارة + مضخة قابضة

3. ارتفاع نظام ضخ الفراغ:

المضخة الجزيئية توربو - 2 مجموعات

4. نظام التحكم الكهربائي والتشغيل - نظام PLC + شاشة تعمل باللمس:

الموردين:

PLC: ميتسوبيشي ، الموديل: FX-IN60MR-001 SERIES

المكونات الإلكترونية: شنايدر ، اومرون.

نظام حماية السلامة: العديد من شبكات الأمان المتداخلة لحماية المشغلين والمعدات (الماء والغاز الحالي ودرجة الحرارة وما إلى ذلك)

نظام عمليات طلاء : أتمتة العمليات والتحكم. حفظها تلقائيا في الذاكرة لمدة 3 أشهر. المميزات وصفات طلاء البيانات: يتم تشغيل عملية الهدف الحالي / الجهد ، التدفق الشامل ، ضغط الفراغ ، ودرجة الحرارة ، وأوقات الطلاء لتحليل لتعزيز جودة الطلاء.

4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح مجزء لا فيوز ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة

4.2 التيار الكهربائي: MF الاخرق السلطة + DC قوس السلطة + التحيز التيار الكهربائي

4.3 نظام التحكم في الترسيب

4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC ، التحكم في الوصفة وتسجيل البيانات ، إيقاف التشغيل التلقائي ، الإخلاء التلقائي ، طلاء السيارات

4.5 نظام القياس

فراغ الضغط: قياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + مقياس الفراغ مجموعة كاملة - أوروبا العلامة التجارية

جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية
MFC: Mass Flow Controller (4 طرق) ،

4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل

4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي

5 . نظام الترسيب

5.1 مصدر الترسيب: الأخرق كاثودات + مصادر قوس + أيون المصدر

5.2 مادة الترسيب: ITO ، التيتانيوم ، الكروم ، الألومنيوم ، الفولاذ المقاوم للصدأ ، TiAl الخ

6. النظام الفرعي

6.1 نظام التحكم في صمام الهواء المضغوط

6.2 نظام مياه التبريد: أنابيب تدفق المياه ونظام صمام التبديل

7. بيئة العمل

الهواء المضغوط: 5 ~ 8KG / CM2

مياه التبريد: المياه في درجة الحرارة: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لتر / دقيقة ،
ضغط الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،

الطاقة: 3 المرحلة 380V 50Hz (60Hz) ، 130kVA ، متوسط ​​استهلاك الطاقة: 60KW

منطقة التركيب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية

تطبيقات

يرجى الاتصال بنا للحصول على المزيد من المواصفات ، يشرفنا شركة رويال تكنولوجي بأن نقدم لكم حلول طلاء كاملة.