![]() |
الاسم التجاري: | ROYAL |
رقم الطراز: | RTAS1250 |
الـ MOQ: | 10 مجموعة |
السعر: | قابل للتفاوض |
شروط الدفع: | L/C, D/A, D/P, T/T |
القدرة على التوريد: | 6 مجموعات شهريا |
الذهب من نوع تين آلة طلاء الرذاذ المغناطيسي المتوسطة التردد / نظام الرذاذ المتعدد التردد
غطاء الفراغ المغناطيسي هو نوع من PVD Ion Plating معالجة السطح. يمكن استخدامه لإنتاج أفلام موصلة أو غير موصلة ، على العديد من أنواع المواد: المعادن ،زجاج، السيراميك، البلاستيك، سبيكة معدنية. مفهوم ترسب الرذاذ: مادة الطلاء (الهدف، ويسمى أيضا الكاثود) وقطع العمل (الترسبات،يطلق عليها أيضا الأندود) يتم وضعها في غرفة الفراغ ويتم تقليل الضغطيتم البدء في التنقيط عن طريق وضع الهدف تحت فرق الجهد وإدخال غاز الأرغون الذي يشكل أيونات الأرغون (إفرازات الوهج).يسرع أيونات الأرجون نحو الهدف العملي ويزيح ذرات الهدفيتم تكثيف هذه الذرات المزروعة ثم على الركيزة وتشكيل طبقة رقيقة جدا ومتساوية عالية. يمكن تحقيق ألوان مختلفة عن طريق إدخال غازات تفاعلية مثل، النيتروجين، الأكسجين،أو الأسيتيلين إلى غازات البث أثناء عملية الطلاء.
نماذج رذاذ المغناطيسية: رذاذ DC ، رذاذ MF ، رذاذ RF
ما هو MF Sputtering؟
بالمقارنة مع التنقيط المتردد و RF ، أصبح التنقيط المتوسط الترددي تقنية التنقيط الرقيقة الرئيسية لإنتاج الكتلة من الطلاء ،وخاصة لتسجيل الأفلام من الطلاءات الكهربائية وغير الموصلة على الأسطح مثل الطلاءات البصرية، الألواح الشمسية، طبقات متعددة، فيلم مادة مركبة الخ
إنه يحل محل الرذاذ الراديوي لأنه يعمل مع kHz بدلاً من MHz لمعدل ترسب أسرع بكثير ويمكن أيضًا تجنب تسمم الهدف أثناء ترسب فيلم رقيق مركب مثل DC.
أهداف الرذاذ الموسيقي كانت دائما موجودة مع مجموعتين Two cathodes are used with an AC current switched back and forth between them which cleans the target surface with each reversal to reduce the charge build up on dielectrics that leads to arcing which can spew droplets into the plasma and prevent uniform thin film growth--- which is what we called Target Poisoning.
أداء نظام التبويب المتعدد الأبعاد
1ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10-6(تور)
2ضغط الفراغ: 1.0×10-4(تور)
3وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10-4إشعال ≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4المواد المعدنية (التبخير من القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr ، TiN ، TiC ، TiAlN ، CrN ، CrC ، الخ
5نموذج التشغيل: كامل تلقائي / نصف تلقائي / يدوي
هيكل نظام التبويض المتعدد الأبعاد
يحتوي آلة طلاء الفراغ على النظام المكتمل الرئيسي المذكور أدناه:
1غرفة الفراغ
2نظام ضخ الفراغ الخام (حزمة مضخة الظهر)
3نظام ضخ الفراغ العالي (ضخ جزئي معلق مغناطيسي)
4نظام التحكم والتشغيل الكهربائي
5نظام المرافق المساعدة (النظام الفرعي)
6. نظام الترسب: الكاثود التنقيط MF، إمدادات الطاقة MF، إمدادات الطاقة Bias مصدر الأيونات للاختيار
المواصفات الخاصة بنظام RTSP1212-MF للتدفق
النموذج | RTSP1212-MF | ||||||
التكنولوجيا | البث المغناطيسي الـ MF + طلاء الأيونات | ||||||
المواد | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) | ||||||
حجم الغرفة | Φ1250*H1250mm | ||||||
نوع الغرفة | أسطوانة، عمودية، باب واحد | ||||||
نظام الرذاذ | تصميم حصراً لتخزين فيلم أسود رقيق | ||||||
مادة الإيداع | الألومنيوم، الفضة، النحاس، الكروم، الفولاذ المقاوم للصدأ، النيكل |
||||||
مصدر الإيداع | 2 مجموعات من أهداف MF الأسطوانية + 8 مصادر قوس كاثودية موجهة | ||||||
غازات | MFC- 4 طرق، Ar، N2، O2، C2H2 | ||||||
المراقبة | PLC ((مراقب منطق قابل للبرمجة) + | ||||||
نظام المضخة | SV300B - مجموعة واحدة (Leybold) | ||||||
WAU1001 - مجموعة واحدة (Leybold) | |||||||
D60T- 2 مجموعات (Leybold) | |||||||
مضخات توربو جزيئية: 2* F-400/3500 | |||||||
قبل المعالجة | إمدادات الطاقة المتحيزة: 1 * 36 KW | ||||||
نظام الأمان | العديد من أقفال السلامة لحماية المشغلين | ||||||
التبريد | الماء البارد | ||||||
الطاقة الكهربائية | 480 فولت / 3 مراحل / 60 هرتز (متوافقة مع الولايات المتحدة الأمريكية) | ||||||
460V / 3 مراحل / 50HZ (متوافقة مع آسيا) | |||||||
380 فولت / 3 مراحل / 50 هرتز (متوافقة مع الاتحاد الأوروبي) | |||||||
بصمة قدم | L3000*W3000*H2000ملم | ||||||
الوزن الإجمالي | 7.0 T | ||||||
بصمة قدم | (L*W*H) 5000*4000*4000MM | ||||||
زمن الدورة | 30 ~ 40 دقيقة (اعتمادا على مواد الركيزة، الهندسة الركيزة والظروف البيئية) |
||||||
(باور ماكس) | 155 كيلوواط | ||||||
متوسط الطاقة |
75 كيلوواط |
لدينا المزيد من النماذج لانتخابك!
الرجاء الاتصال بنا لمزيد من المواصفات، تكنولوجيا الملكية يشرفنا لتوفير لكم حلول الطلاء الكاملة.