الذهب والفضة والنحاس آلة ترسب السيراميكية

أجهزة ترسب الرذاذ الذهبي ، آلة ترسب PVD للذهب / الذهب ، نظام ترشيح PVD للفيلم الموصل 

ملخص:عملية DPC - التصفية المباشرة للنحاس هي تقنية طلاء متقدمة تطبق مع صناعات LED / أشباه الموصلات / الإلكترونية. أحد التطبيقات النموذجية هو الركيزة السيراميكية المشعة.ترسب فيلم كوبر الموصل على أكسيد الألومنيوم (Al2O3)، الركائز AlN بواسطة تكنولوجيا PVD الفراغ، بالمقارنة مع التصنيع التقليدي

الطرق: DBC LTCC HTCC ، تكلفة الإنتاج المنخفضة بكثير هي ميزتها العالية.

فريق التكنولوجيا الملكية ساعد عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح مع تكنولوجيا التنقيط PVD.

الكلمات الرئيسية:أجزاء الختم السيراميكية ، عملية DPC ، النحاس PVD نظام التدفق ، LED رقائق السيراميك مع طبقة كوبر ، Al₂أوه₃لوحات الدوائر السيراميكية، أل2O3 لوحات على LED، أشباه الموصلات

تطبيقات(د.ب.ك)

· HBLED

· أساسات خلايا المركز الشمسي

· حزم أشباه الموصلات الكهربائية بما في ذلك التحكم في المحركات

· إلكترونيات إدارة الطاقة للسيارات الهجينة والكهربائية

· حزم للأشعة اللاسلكية

· أجهزة الميكروويف

أداء تكنولوجيا DPC

مواد الركيزة المختلفة: السيراميك (Al3O2 ، AlN) ، الزجاج ، و Si

• تكلفة إنتاج أقل بكثير.
• أداء ممتاز في إدارة الحرارة ونقل الحرارة
• محاذاة دقيقة وتصميم نمط
• التماسك المعدني القوي

الخصائص:

• سعة عالية تصل إلى 2.2 م2 من الركيزة السيراميكية لكل دورة.
• التماسك القوي مع جهاز تسخين قوي وتنظيف مصدر البلازما.
• التصميم المدمج وسهل الوصول للعمل على الترقية والصيانة
• التشغيل الآلي بالكامل، PLC + شاشة لمس، نظام التحكم بلمسة واحدة.
• كفاءة عالية مع استهلاك طاقة أقل، ما يصل إلى 50٪ من تكاليف الإنتاج.

المواصفات التقنية

• الأداء

1ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 9.0 * 10^-5أبي

• ضغط الفراغ الأساسي: 3.0 * 10^-2أبي

3. ضخ إلى أسفل الوقت: من atm إلى 1.0 × 10^-3Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)

4مصدر الترسب: كاثودات غينكو المغناطيسية، كاثودات القوس الموجهة، مصدر الأيونات

5نموذج التشغيل: كامل تلقائي / نصف تلقائي / يدوي

6التدفئة: من درجة حرارة الغرفة إلى 500 درجة مئوية

9مصدر الأيونات لعملية PECVD و PA PVD.

• الهيكل

يحتوي آلة طلاء الفراغ على النظام المكتمل الرئيسي المذكور أدناه:

1غرفة الفراغ

1.1 الحجم: القطر الداخلي: 1200 ملم

الارتفاع الداخلي: 1500 ملم

1.2 المادة: غرفة فراغ SUS304

أبواب وأحواض SUS304

هيكل تعزيز الغرفة: الصلب SS41 الخفيف ، مع علاج سطح التشطيب المصبوغ.

هيكل الغرفة SS41 من الفولاذ الخفيف مع معالجة الطلاء النهائي السطحي.

1.3 درع الغرفة: SUS304

1.4 النافذة: 2 على الباب

1.5 صمام التهوية في غرفة الفراغ (بما في ذلك الصوت)

1.6 باب: مادة SUS304

2. روغينغنظام ضخ الفراغ:

مضخة فراغ الزيت الدوارة + مضخة الاحتفاظ
 

3نظام ضخ الفراغ العالي: مضخة جزيئية معلقة مغناطيسيا - مجموعتين

4نظام التحكم والتشغيل الكهربائي - نظام تشغيل الشاشة اللمسية PLC +:

الموردين:

PLC: Mitsubishi + الشاشة اللمسية (صنع في الصين)

المكونات الإلكترونية:

نظام حماية السلامة:العديد من حواجز الأمان لحماية المستخدمين والمعدات (المياه والغازات الحالية ودرجة الحرارة الخ)

نظام عمليات الطلاء: أتمتة العمليات والتحكم.

4.1 الدائرة الرئيسية: مفتاح مفصل غير مصدر ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة

4.2 إمدادات الطاقة: طاقة التنقيط المتواصلة/MF + طاقة القوس المتواصل + إمدادات الطاقة المتحيزة

4.3 نظام التحكم في الترسب

4.4 نظام التشغيل: الشاشة الملموسة + PLC، تحكم الوصفة وتسجيل البيانات، إغلاق تلقائي، إخلاء تلقائي، طلاء تلقائي

4.5 نظام قياس

ضغط الفراغ: مقياس الفراغ: بيراني + مقياس بيننغ + مقياس فراغ كامل -- العلامة التجارية الأوروبية

جهاز قياس درجة الحرارة: زوج حراري
MFC: مراقب تدفق الكتلة (أربعة طرق) ،

4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، خطأ في التشغيل

4.7 مؤشر حمولة الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر تيار الحمل

5نظام التسجيل

5.1 مصدر الترسب: الكاثودات المزروعة + مصادر القوس + مصدر الأيونات

5.2 مواد الترسب: النحاس، الألومنيوم، الكروم، الفضة، الذهب، SS، التيتانيوم، الخ.
 

6.النظام الفرعي

6.1 نظام تحكم صمام الهواء المضغوط

6.2 نظام مياه التبريد: أنابيب تدفق المياه ونظام صمام التبديل

7بيئة العمل

الهواء المضغوط: 5~8kg/cm2

مياه التبريد: درجة حرارة الماء: 20 ~ 25 °C، 200 لتر / دقيقة،
ضغط المياه: 2 ~ 3 كجم / سم2

الطاقة: 3 مرحلة 380V 50Hz ((60Hz) ، 130kVA ، متوسط استهلاك الطاقة: 60KW

مساحة التثبيت: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

مخرج: التهوية للمضخات الميكانيكية

الرجاء الاتصال بنا لمزيد من المواصفات، تكنولوجيا الملكية يشرفنا لتوفير لكم حلول الطلاء الكاملة.