![]() |
الاسم التجاري: | ROYAL |
رقم الطراز: | DPC1215 |
الـ MOQ: | 1 |
السعر: | Negoitable |
أجهزة ترسب الرذاذ الذهبي ، آلة ترسب PVD للذهب / الذهب ، نظام ترشيح PVD للفيلم الموصل
ملخص:عملية DPC - التصفية المباشرة للنحاس هي تقنية طلاء متقدمة تطبق مع صناعات LED / أشباه الموصلات / الإلكترونية. أحد التطبيقات النموذجية هو الركيزة السيراميكية المشعة.ترسب فيلم كوبر الموصل على أكسيد الألومنيوم (Al2O3)، الركائز AlN بواسطة تكنولوجيا PVD الفراغ، بالمقارنة مع التصنيع التقليدي
الطرق: DBC LTCC HTCC ، تكلفة الإنتاج المنخفضة بكثير هي ميزتها العالية.
فريق التكنولوجيا الملكية ساعد عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح مع تكنولوجيا التنقيط PVD.
الكلمات الرئيسية:أجزاء الختم السيراميكية ، عملية DPC ، النحاس PVD نظام التدفق ، LED رقائق السيراميك مع طبقة كوبر ، Al2أوه3لوحات الدوائر السيراميكية، أل2O3 لوحات على LED، أشباه الموصلات
تطبيقات(د.ب.ك)
· HBLED
· أساسات خلايا المركز الشمسي
· حزم أشباه الموصلات الكهربائية بما في ذلك التحكم في المحركات
· إلكترونيات إدارة الطاقة للسيارات الهجينة والكهربائية
· حزم للأشعة اللاسلكية
· أجهزة الميكروويف
أداء تكنولوجيا DPC
مواد الركيزة المختلفة: السيراميك (Al3O2 ، AlN) ، الزجاج ، و Si
الخصائص:
المواصفات التقنية
1ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 9.0 * 10-5أبي
3. ضخ إلى أسفل الوقت: من atm إلى 1.0 × 10-3Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4مصدر الترسب: كاثودات غينكو المغناطيسية، كاثودات القوس الموجهة، مصدر الأيونات
5نموذج التشغيل: كامل تلقائي / نصف تلقائي / يدوي
6التدفئة: من درجة حرارة الغرفة إلى 500 درجة مئوية
9مصدر الأيونات لعملية PECVD و PA PVD.
يحتوي آلة طلاء الفراغ على النظام المكتمل الرئيسي المذكور أدناه:
1غرفة الفراغ
1.1 الحجم: القطر الداخلي: 1200 ملم
الارتفاع الداخلي: 1500 ملم
1.2 المادة: غرفة فراغ SUS304
أبواب وأحواض SUS304
هيكل تعزيز الغرفة: الصلب SS41 الخفيف ، مع علاج سطح التشطيب المصبوغ.
هيكل الغرفة SS41 من الفولاذ الخفيف مع معالجة الطلاء النهائي السطحي.
1.3 درع الغرفة: SUS304
1.4 النافذة: 2 على الباب
1.5 صمام التهوية في غرفة الفراغ (بما في ذلك الصوت)
1.6 باب: مادة SUS304
2. روغينغنظام ضخ الفراغ:
مضخة فراغ الزيت الدوارة + مضخة الاحتفاظ
3نظام ضخ الفراغ العالي: مضخة جزيئية معلقة مغناطيسيا - مجموعتين
4نظام التحكم والتشغيل الكهربائي - نظام تشغيل الشاشة اللمسية PLC +:
الموردين:
PLC: Mitsubishi + الشاشة اللمسية (صنع في الصين)
المكونات الإلكترونية:
نظام حماية السلامة:العديد من حواجز الأمان لحماية المستخدمين والمعدات (المياه والغازات الحالية ودرجة الحرارة الخ)
نظام عمليات الطلاء: أتمتة العمليات والتحكم.
4.1 الدائرة الرئيسية: مفتاح مفصل غير مصدر ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة
4.2 إمدادات الطاقة: طاقة التنقيط المتواصلة/MF + طاقة القوس المتواصل + إمدادات الطاقة المتحيزة
4.3 نظام التحكم في الترسب
4.4 نظام التشغيل: الشاشة الملموسة + PLC، تحكم الوصفة وتسجيل البيانات، إغلاق تلقائي، إخلاء تلقائي، طلاء تلقائي
4.5 نظام قياس
ضغط الفراغ: مقياس الفراغ: بيراني + مقياس بيننغ + مقياس فراغ كامل -- العلامة التجارية الأوروبية
جهاز قياس درجة الحرارة: زوج حراري
MFC: مراقب تدفق الكتلة (أربعة طرق) ،
4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، خطأ في التشغيل
4.7 مؤشر حمولة الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر تيار الحمل
5نظام التسجيل
5.1 مصدر الترسب: الكاثودات المزروعة + مصادر القوس + مصدر الأيونات
5.2 مواد الترسب: النحاس، الألومنيوم، الكروم، الفضة، الذهب، SS، التيتانيوم، الخ.
6.النظام الفرعي
6.1 نظام تحكم صمام الهواء المضغوط
6.2 نظام مياه التبريد: أنابيب تدفق المياه ونظام صمام التبديل
7بيئة العمل
الهواء المضغوط: 5~8kg/cm2
مياه التبريد: درجة حرارة الماء: 20 ~ 25 °C، 200 لتر / دقيقة،
ضغط المياه: 2 ~ 3 كجم / سم2
الطاقة: 3 مرحلة 380V 50Hz ((60Hz) ، 130kVA ، متوسط استهلاك الطاقة: 60KW
مساحة التثبيت: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
مخرج: التهوية للمضخات الميكانيكية
الرجاء الاتصال بنا لمزيد من المواصفات، تكنولوجيا الملكية يشرفنا لتوفير لكم حلول الطلاء الكاملة.