يتم استخدام الرذاذ المغناطيسي على نطاق واسع لإيداع المعادن الصلبة مثل التنتال، التيتانيوم، التنغستن,النيوبيوم، والذي يتطلب درجات حرارة عالية جداً للترسب، والمعادن الثمينة: الذهب والفضة والتي تستخدم أيضًا لإيداع المعادن ذات نقاط الذوبان المنخفضة مثل النحاس والألومنيوم والنيكل والكروم وما إلى ذلك.
التنتال هو الأكثر استخداما في الالكترونياتالصناعةكطلاء وقائي بسبب مقاومته الجيدة للتآكل.
تطبيقات للفيلم الرقيق من التنتاليم المزق:
1صناعة الميكروإلكترونيات حيث يمكن أن يتم رذاذ الأفلام بشكل تفاعلي وبالتالي يمكن التحكم في المقاومة ومعامل درجة الحرارة للمقاومة ؛
المزايا التقنية
منظومة رصيف التنتال الموحدة من شركة رويال تكنولوجيا: RTSP1000
| التكوينات الرئيسية | |
| النموذج | RTSP1000 |
| التكنولوجيا |
التدفق المغناطيسي المباشر طلاء القوس الكاثودي (للاختيار، يتم تحديده عن طريق عملية الطلاء) |
| مادة الغرفة | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) |
| حجم الغرفة | Φ1000*1600mm (H) |
| نوع الغرفة | شكل D، غرفة أسطوانية |
| نظام الالتفاف و الالتفاف | نظام القيادة الفضائية أو نظام القيادة المركزي |
| إمدادات الطاقة |
إمدادات الطاقة المتواصلة: 2 ~ 4 مجموعات مصدر الأيونات: 1 مجموعة |
| مادة الإيداع | طا، تي/كر/تيال، أو، أغ، كيو الخ |
| مصدر الإيداع | الكاثودات المخططة + كاثودات القوس الدائري |
| المراقبة | PLC ((مراقب منطق قابل للبرمجة) + IPC (نموذج التشغيل اليدوي + الأوتوماتيكي + شبه الأوتوماتيكي) |
| نظام المضخة | مضخة العجلات الدوارة: SV300B 1 مجموعة (Leybold) |
| مضخة الجذور: WAU1001 1 مجموعة (Leybold) | |
| مضخة الاحتفاظ: D60C 1 مجموعة (Leybold) | |
| مضخة جزيئية مغناطيسية معلقة: MAG2200 2 ست (ليبولد) |
|
| مراقب تدفق الكتلة الغازية | قنوات 2: Ar و N2 |
| مقياس الفراغ | إينفيكون أو ليبولد |
| نظام الأمان | العديد من حواجز الأمان لحماية المشغلين والمعدات |
| التدفئة | أجهزة التدفئة: 20 كيلوواط الحرارة القصوى: 450 درجة مئوية |
| التبريد | المبرد الصناعي (المياه الباردة) |
| (باور ماكس) | 100 كيلوواط (حوالي.) |
| متوسط استهلاك الطاقة | 45 كيلوواط (حوالي.) |
| الوزن الإجمالي | T (حوالي.) |
| بصمة القدم | (L*W*H) 4000 * 4000 * 3600 MM |
| الطاقة الكهربائية |
خط التيار المتردد 380 فولت / 3 مراحل / 50 هرتز / 5 |
في الموقع:
وقت البناء: 2018
الموقع: الصين
الرجاء الاتصال بنا لمزيد من التطبيقات والمواصفات.
