Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant على معدات أشباه الموصلات / رقائق السيراميك مباشرة الطلاء الاخرق النحاس المعدات
كوبر المغنطرون الاخرق طلاء مصنع على السيراميك يشع الركيزة
إن عملية DPC- Direct Plating Copper هي تقنية طلاء متقدمة مطبقة في الصناعات LED / أشباه الموصلات / الصناعات الإلكترونية. تطبيق واحد نموذجي هو الركيزة يشع السيراميك.
ترسب الفيلم موصل كوبر على ركائز Al2O3 ، AlN ، Si ، Glass بواسطة تقنية التفريغ الفراغ PVD ، مقارنة بطرق التصنيع التقليدية: DBC LTCC HTCC ، الميزات:
1. تكلفة الإنتاج أقل بكثير.
2. الإدارة الحرارية المتميزة وأداء نقل الحرارة
3. محاذاة دقيقة وتصميم نمط ،
4. ارتفاع كثافة الدوائر
5. التصاق جيدة و solderability
ساعد فريق التكنولوجيا الملكي عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح باستخدام تقنية PVD الاخرق.
بسبب أدائها المتقدم ، تستخدم ركائز DPC على نطاق واسع في مختلف التطبيقات:
إضاءة LED عالية السطوع لزيادة عمر الخدمة الطويل بسبب أدائها العالي للإشعاع الحراري ، معدات أشباه الموصلات ، الاتصالات اللاسلكية بالميكروويف ، الإلكترونيات العسكرية ، مختلف ركائز المستشعر ، الطيران ، النقل بالسكك الحديدية ، الطاقة الكهربائية ، إلخ.
تم تصميم معدات RTAC1215-SP بشكل حصري لعملية DPC التي تحصل على طبقة كوبر على الركائز. يستخدم هذا الجهاز مبدأ ترسيب البخار الفيزيائي لـ PVD ، مع تقنيات الطلاء الأيوني متعدد القوس وتقنية المغنطرون للحصول على الفيلم المثالي بكثافة عالية ، مقاومة عالية للتآكل ، صلابة عالية وملزمة قوية في بيئة فراغ عالية. هذه هي الخطوة الحاسمة لعملية الراحة DPC.
النحاس الاخرق طلاء آلة الميزات الرئيسية
1. مجهزة بـ 8 كاثودات قوسية توجيهية وكاثودات ديسكات متقطعة ، وكاثودات MF متقطعة ، وحدة مصدر أيون.
2. متعدد الطبقات و شارك ترسب الطلاء المتاحة
3. مصدر الأيونات لتنظيف البلازما قبل المعالجة و ترسيب الشعاع الأيوني لتعزيز التصاق الفيلم.
4. السيراميك / Al2O3 / AlN ركائز التدفئة وحدة ؛
5. الركيزة نظام الدوران والثورة ، لطلاء 1 الجانب و 2 الجانبين الطلاء.
مواصفات آلة طلاء النحاس الاخرق
أداء
1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 5.0 × 10 - 6 Tor.
2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10 - 4 تور.
3. ضخ الوقت: من 1 atm إلى 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4. المواد المعدنية (الاخرق + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr إلخ.
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا
بناء
آلة طلاء الفراغ تحتوي على نظام مكتمل مفتاح مدرج أدناه:
1. فراغ الغرفة
2. روجينج نظام ضخ فراغ (حزمة مضخة الدعم)
3. نظام ضخ الفراغ العالي (المضخة الجزيئية للتعليق المغنطيسي)
4. التحكم الكهربائي ونظام التشغيل
5. نظام مرفق المساعدة (النظام الفرعي)
6. نظام الترسيب
يرجى الاتصال بنا للحصول على المزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.
