نظام ترسب الرذاذ المغناطيسي

نظام ترسب الفخاريات الضوئية للفيلم التأليفي الكارهة للماء والأفلام الوظيفية الأخرى

التطبيقات:

إن آلة RTSP1213 عبارة عن نظام متقزم للنموذج الدفعي ، ويمكنه أن يودع مختلف الطلاءات الصلبة ، والطلاء الناعم ، والأفلام المركبة وأفلام التشحيم الصلبة على المواد المعدنية وغير المعدنية. يتم تطبيقها على صناعات مركبات خلايا الوقود الهيدروجينية ومنتجات الضوئيات والفضاء وصناعات الطاقة الجديدة الأخرى.

الخصائص:

لتحسين الموصلية السطح ؛

مقاومة التآكل عالية.

مقاومة التآكل عالية.

صلابة عالية

فيلم تكوين مسعور والأفلام الوظيفية الأخرى

متاح للطلاء مركب: الأفلام المعدنية وغير المعدنية.

يتراوح سمك الفيلم من 100nm إلى 12μm ، سمك التسامح ± 5 ٪
التصاق قوي.

أجزاء هدأ منخفضة تصلب السطح العلاج.

اكتب:

اتجاه عمودي ، هيكل متعدد السطوح ، بابين (أمامي وخلفي)

المميزات:

• نظام صديقة للبيئة ، لا تلوث مياه الصرف الصحي والهواء والضوضاء التلوث ؛
• سهل التشغيل: شاشة تعمل باللمس + تحكم PLC وبرنامج فريد من نوعه لتشغيل لمسة واحدة ، وأكثر من 80 ٪ التنبيه إطلاق النار المتاعب.
• ما يصل إلى 10 وصفات معالجة تسجيل الدخول والنسخ الاحتياطي. التكرار عالية والتنوع.
• تصميم خاص لنظام كاروسيل من أجل التوحيد العالي لترسيب الفيلم.
• إنتاجية عالية وجودة عالية
• نظام مستقر وموثوق ، يعمل لمدة 365 يومًا * 24 ساعة (وقت الصيانة والإصلاح)
• نظام ضخ كفاءة: خطوط أنابيب فراغ أقصر لسرعة الأنابيب القصوى مع مضخات العلامة التجارية أوروبا المعروفة
• تصميم مضغوط يشغل الحد الأدنى من مساحة التثبيت.

المواصفات الفنية

• أداء

1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 8.0 * 10 ^-5 Pa ؛

• ضغط الفراغ الأساسي: 3.0 * 10 ^{- 4} باسكال

3. ضخ الوقت: من atm إلى 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)

4. مصدر ترسب: الكاثود متوازنة / غير متوازنة

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا

6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة تصل إلى أقصى الحدود. 450 ℃،

7. تنظيف البلازما والبلازما مساعدة ترسب: الأنود الخطي مصدر أيون

8. المغناطيسي مغلقة - حلقة المقدمة. (عدم التوازن / الكاثود التوازن)

9. التحيز امدادات الطاقة لتفريغ الوهج.

• بناء

آلة طلاء الفراغ تحتوي على نظام مكتمل مفتاح مدرج أدناه:

1. فراغ الغرفة
1.1 الحجم: القطر الداخلي 1200 ملم

الارتفاع الداخلي: 1300 مم

1.2 المواد: فراغ الغرفة SUS304

الباب والشفاه SUS304

غرفة تعزيز الهيكل: SS41 الفولاذ الطري ، مع الانتهاء من معالجة طلاء السطح.

هيكل غرفة SS41 الفولاذ الطري مع الانتهاء من معالجة سطح الطلاء.

1.3 درع الاخرق: SUS304

1.4 نافذة الرؤية: على باب الغرفة - 4 مجموعات (2 على كل باب)

1.5 صمام فراغ غرفة التهوية (بما في ذلك كاتم الصوت)

1.6 الباب: المواد SUS304

2. رو ghing فراغ نظام الضخ :

مضخة فراغ دوارة دوارة النفط + مضخة الجذور + مضخة القابضة (Leybold)

3. ارتفاع نظام ضخ فراغ :

المضخة الجزيئية للتعليق المغناطيسي (Leybold)

• بوابة الصمامات - 2 مجموعات

4. التحكم الكهربائي ونظام التشغيل - PLC + شاشة تعمل باللمس

4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح قاطع بدون فتيل ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة

4.2 مزود الطاقة المتقطع + مصدر طاقة مصدر أيون + مزود طاقة متحيز (طاقة متقدمة)

4.3 نظام التحكم ترسب الاخرق

4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC والتحكم في الوصفة وتسجيل البيانات والإغلاق التلقائي والإخلاء التلقائي والطلاء التلقائي

4.5 نظام القياس

ضغط الفراغ: مقياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + مقياس الفراغ الكامل المدى - ماركة أوروبا

جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية
MFC: جهاز التحكم في التدفق الشامل (4 طرق) ، وضع العرض الرقمي - علامة تجارية أوروبية

4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل

4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي

5 . نظام الترسيب

5.1 مصدر الترسب: كاثود الاخرق ، مصدر أيون - العلامة التجارية أوروبا

5.2 مواد الترسيب: الكربون الهدف

6. النظام الفرعي

6.1 نظام التحكم بالصمام المضغوط بالهواء

6.2 نظام مياه التبريد: أنبوب تدفق المياه ونظام تبديل الصمام

7. بيئة العمل

الهواء المضغوط: 5 ~ 8kg / cm2

مياه التبريد: درجة حرارة الماء: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لتر / دقيقة ،
ضغط الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،

الطاقة: 3 المرحلة 380V 50Hz (60Hz) ، 75kVA ، متوسط ​​استهلاك الطاقة: 40KW

منطقة التثبيت: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية

لماذا نحن؟

1. تتيح آلات الإنتاج المتقدمة (الطحن واللحام والقطع واختبار تسرب الفراغ) بالإضافة إلى إجراءات الإنتاج الموحدة والاختبارات الصارمة لشركة Royal Technology إنتاج أنظمة طلاء عالية الجودة وموثوقة ومنخفضة التكلفة.

2. الجودة والخدمة والتسليم في الوقت المحدد هي المبادئ الأساسية لأعمال شركة رويال تكنولوجي. تتيح لنا استراتيجية الاستعانة بمصادر خارجية لمكونات بسيطة علانية للمصنوعات الاحترافية تركيز الاهتمام على الأجزاء الرئيسية ومكونات البحث والتطوير والتصنيع.

3. تضمن سياسات صارمة لمراقبة الجودة والاختيار الدقيق للموردين المؤهلين حصول عملاء شركة Royal Technology على أحدث المعدات عالية الجودة بتكلفة معقولة.

يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.

لتنزيل الكتيب المكتمل ، يرجى النقر هنا: R&D vacuum coating machine - PECVD + PVD depositio ...