![]() |
الاسم التجاري: | ROYAL |
رقم الطراز: | RTSP1200 |
الـ MOQ: | 1 مجموعة |
السعر: | قابل للتفاوض |
شروط الدفع: | L / C ، D / A ، D / P ، T / T |
القدرة على التوريد: | 6 مجموعات شهريا |
نموذج الجهاز: RT1200-FCEV
التكنولوجيا: مع PECVD + PVD Magnetron Sputtering Depositing: Si ، Cr ، graphite targets ، لتوليد مجال مغناطيسي مغلق غير متوازن للكثافة العالية ،فيلم على أساس الكربون ذو توحيد عالية ومقاومة ممتازة للتآكل.
هذاRTالهيئة الوطنيةنظام ترسب المغناطيسية عالية الفراغ هو نموذج مصمم خصيصا الذي يشير إلى النموذج Multi950-R & D التي بنيت لجامعة شنغهاي.
تم تصميمه مع غرفة Octal ، وأداء مرن وموثوق به تستخدم على نطاق واسع في تطبيقات مختلفة.الجرافيت، Al، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS والعديد من المعادن غير المغناطيسية الأخرى؛ بالإضافة إلى وحدة مصدر الأيون،
تعزز بفعالية صلابة الفيلم على مواد الركيزة المختلفة مع أدائها في حفر البلازما وعملية PECVD لإيداع بعض طبقات الكربون.
هيكل المعدات:
التوجه الرأسي، هيكل ثمانية الأطراف، بابين مفتوحين (أمام وخلف) لسهولة الوصول.
خصائص المعدات:
نظام صديق للبيئة، لا توجد نفايات خطرة
التكامل العالي، التصميم الوحدي
تجارية وموحدة للإنتاج الضخم الصناعي
مصدر آيوني فعال للغاية للالتصاق القوي والإيونية العالية
سهلة التشغيل: شاشة لمسة + تحكم PLC، عملية لمسة واحدة
باستخدام برنامج رويال تكنولوجيا، يمكن برمجة معايير العملية، وحفظها وإعادة إنتاجها
تصميم خاص لنظام الكاروسيل للتراكم المتساوي للغاية
إنتاجية عالية واستقرار، العمل 24/7 في الأسبوع
مرنة، تتناسب مع مختلف أحجام الألواح، لتغطية جانب واحد أو مزدوج
أداء فيلم طلاء PVD و PECVD:
لتحسين موصلة السطح
مقاومة عالية للتآكل
مقاومة ارتداء عالية
صلابة عالية
فيلم تركيب هيدروفوبي وأفلام وظيفية أخرى
متاحة للطلاء المركب: الأفلام المعدنية وغير المعدنية
نطاق سمك الفيلم من 100nm إلى 12μm ، تسامح سمك ± 5٪ الالتصاق القوي
المعالجة السطحية لتصلب الأجزاء منخفضة الحرارة
النموذج | RTالهيئة الوطنية | |||||||||
المواد | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) | |||||||||
حجم الغرفة | Φ1250*1350mm (H) | |||||||||
نوع الغرفة | الهيكل الأمامي والخلفي ذو بابين، الرأسي | |||||||||
حزمة مضخة واحدة | مضخة الفراغ بالبستن الدوار | |||||||||
مضخة فراغ الجذور | ||||||||||
مضخة جزيئية مغناطيسية معلقة | ||||||||||
مضخة الفان الدوارة (ضخة الحفاظ) | ||||||||||
التكنولوجيا | الرذاذ المغناطيسي، مصدر الأيون PECVD | |||||||||
إمدادات الطاقة | إمدادات الطاقة من البسترة + إمدادات الطاقة من التحيز + مصدر الأيونات | |||||||||
مصدر الإيداع | 2 أزواج من الكاثودات المترددة / الراديو الراديوي + (2 أزواج احتياطي باستخدام) + مصدر الأيون | |||||||||
المراقبة | PLC + شاشة لمسة | |||||||||
غازات | مقاييس تدفق كتلة الغازات (Ar، N2، C2H2، O2) الأرجون والنيتروجين والإيثين والأكسجين | |||||||||
نظام الأمان | العديد من حواجز الأمان لحماية المستخدمين والمعدات | |||||||||
التبريد | مياه التبريد | |||||||||
التنظيف | إفرازات الإشعاع / مصدر الأيونات | |||||||||
(باور ماكس) | 150 كيلوواط | |||||||||
متوسط استهلاك الطاقة | 75 كيلوواط |
الرجاء الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات، تكنولوجيا الملكية يشرف على توفير لكم حلول الطلاء الكاملة.