|
| الاسم التجاري: | ROYAL |
| رقم الطراز: | RTAC1215-SP |
| الـ MOQ: | 1 مجموعة |
| السعر: | قابل للتفاوض |
| القدرة على التوريد: | 6 مجموعات شهريا |
مصنع طلاء الرش بالرشاش PVD Ni ، نظام تعدين الفراغ Cr ، معدات طلاء الفراغ Sn / Ag ، مصنع طلاء النحاس
هيكل المعدات:
إن آلة RTAC1215-SP عبارة عن نوع ثماني ، والذي يتكون من مضخات تفريغ ، وغرفة تفريغ تحتوي على 8 كاثودات قوسية ، ومصدر أيون خطي ، ومجموعتين من كاثودات الرش بالتيار المستمر وزوج واحد من كاثودات MF.المصدر الأيوني ، الحواف المثبتة على الكاثودات المتطايرة ثابتة والتي يمكن استبدالها بمرونة بناءً على طلب عملية الطلاء الفعلي.
التطبيقات:
1. صناعة DPC لأجزاء الختم الخزفية ، عملية DPC ، نظام رش PVD النحاسي ، رقائق السيراميك LED مع طلاء Cooper ، Al2ا3، لوحات دوائر سيراميك AlN ، لوحات Al2O3 على LED ، أشباه الموصلات
2. الفضة ، النيكل ، الكروم ، الذهب ، الألومنيوم ، In ، Sn إلخ. أفلام معدنية TiN ، TiAlN ، TiC ، TiO ، CrC ، CrCN ، CrN إلخ.
مزايا:
1. إنتاج فعالة من حيث التكلفة
2. إضفاء الطابع الإنساني على محطة العمل (تصميم مريح لمحطة العمل ، وتقليل المساحة والضوضاء وخطر وقوع الحوادث)
3. غلة عالية الجودة.
4. التصاق قوي بجهاز تسخين قوي وتنظيف مصدر البلازما.
5. تصميم مدمج ووصول سهل للترقية وأعمال الصيانة.
6. أتمتة كاملة ، PLC + شاشة تعمل باللمس ، نظام تحكم بلمسة واحدة.
7. كفاءة عالية مع استهلاك أقل للطاقة ، كحد أقصى.توفير تكلفة الإنتاج بنسبة 50٪.
المواصفات الفنية:
1. ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 9.0 * 10-5باسكال ؛
3. وقت الضخ: من atm إلى 1.0 × 10-3Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، حجرة جافة ونظيفة وفارغة)
4 - مصدر الترسيب: كاثودات رش المغنطرون Gencoa ، كاثودات القوس الموجه ، مصدر أيوني
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي
6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة وحتى الحد الأقصى.500 ،
9. مصدر أيوني لعملية PECVD و PA PVD.
تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مذكور أدناه:
1. غرفة فراغ
1.1 الحجم: القطر الداخلي: 1200 مم
الارتفاع الداخلي: 1500 مم
1.2 مادة: فراغ غرفة SUS304
الباب والفلنجات SUS304
هيكل تقوية الغرفة: الفولاذ الطري SS41 ، مع معالجة السطح المطلي.
هيكل الغرفة SS41 من الفولاذ الطري مع معالجة سطحية مطلية.
1.3 درع الغرفة: SUS304
1.4 نافذة الرؤية: 2 على الباب
1.5 صمام تنفيس غرفة الفراغ (بما في ذلك كاتم الصوت)
1.6 الباب: مادة SUS304
2. نظام ضخ الفراغ الخشنة:
مضخة فراغ دوارة الزيت + مضخة القابضة
مضخة جزيئية تعليق مغناطيسي - مجموعتان
4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي- نظام التشغيل PLC + شاشة تعمل باللمس:
الموردين:
PLC: ميتسوبيشي + شاشة تعمل باللمس (صنع في الصين)
المكونات الإلكترونية: شنايدر ، أومرون.
نظام حماية السلامة:العديد من أقفال الأمان لحماية المشغلين والمعدات (الماء والغاز الحالي ودرجة الحرارة وما إلى ذلك)
نظام عمليات الطلاء: أتمتة العمليات والتحكم فيها.
4.1 الدائرة الرئيسية: مفتاح قاطع بلا فتيل ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة
4.2 مصدر الطاقة: طاقة الرش DC / MF + طاقة قوس التيار المستمر + مصدر طاقة التحيز
4.3 نظام التحكم في الترسيب
4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC ، التحكم في الوصفة وتسجيل البيانات ، الإغلاق التلقائي ، الإخلاء التلقائي ، الطلاء التلقائي
4.5 نظام القياس
ضغط الفراغ: مقياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + مقياس الفراغ كامل المدى - العلامة التجارية الأوروبية
جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية
MFC: جهاز التحكم في التدفق الشامل (4 طرق) ،
4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، التشغيل الخاطئ
4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي
5.نظام الترسيب
5.1 مصدر الترسيب: رشاش كاثود + مصادر قوس + مصدر أيون
5.2 مادة الترسيب: النحاس ، الألومنيوم ، الكروم ، الفضة ، الذهب ، SS ، التيتانيوم إلخ.
6.النظام الفرعي
6.1 نظام التحكم بصمام الهواء المضغوط
6.2 نظام مياه التبريد: أنبوب تدفق المياه ونظام صمام التبديل
هواء مضغوط: 5 ~ 8 كجم / سم 2
مياه التبريد: درجة حرارة دخول الماء: 20 ~ 25، 200 لتر / دقيقة،
ضغط دخول الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،
الطاقة: 3 مراحل 380V 50Hz (60Hz) ، 130kVA ، متوسط استهلاك الطاقة: 60KW
منطقة التثبيت: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 مم
العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تدعمك Royal Technology بحلول الطلاء الكاملة.
