سطح فيلم ملون المغنطرون الاخرق Pvd فراغ طلاء آلة للفسيفساء

التطبيقات:

إن آلة RTSP1213 عبارة عن نظام إنساخ نموذج دفعي ، ويمكنه أن يودع مختلف أنواع الطلاء الصلب ، والطلاء الناعم ، والأفلام المركبة وأفلام التشحيم الصلبة على المواد المعدنية وغير المعدنية. تطبق على الفسيفساء ، صناعات مركبات خلايا الوقود الهيدروجينية ، منتجات الضوئيات ، الفضاء وغيرها من صناعات الطاقة الجديدة.

الخصائص:

لتحسين الموصلية السطح ؛

مقاومة التآكل عالية.

مقاومة التآكل عالية.

صلابة عالية

فيلم تكوين مسعور والأفلام الوظيفية الأخرى

متاح للطلاء مركب: الأفلام المعدنية وغير المعدنية.

يتراوح سمك الفيلم من 100nm إلى 12μm ، سمك التسامح ± 5 ٪
التصاق قوي.

أجزاء هدأ منخفضة تصلب السطح العلاج.

اكتب:

اتجاه عمودي ، هيكل متعدد السطوح ، بابين (أمامي وخلفي)

المميزات:

• نظام صديقة للبيئة ، لا تلوث المياه الصناعية والهواء والضوضاء التلوث ؛
• سهل التشغيل: شاشة تعمل باللمس + تحكم PLC وبرنامج فريد من نوعه لتشغيل لمسة واحدة ، وأكثر من 80 ٪ التنبيه إطلاق النار المتاعب.
• ما يصل إلى 10 وصفات معالجة تسجيل الدخول والنسخ الاحتياطي. التكرار عالية والتنوع.
• تصميم خاص لنظام كاروسيل من أجل التوحيد العالي لترسيب الفيلم.
• إنتاجية عالية وجودة عالية
• نظام مستقر وموثوق ، يعمل لمدة 365 يومًا * 24 ساعة (وقت الصيانة والإصلاح)
• نظام ضخ الكفاءة: خطوط أنابيب فراغ أقصر لسرعة الأنابيب القصوى مع مضخات العلامة التجارية الأوروبية المعروفة
• يشغل التصميم المضغوط مساحة تركيب دنيا.

المواصفات الفنية

• أداء

1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 8.0 * 10 ^-5 Pa ؛

• ضغط الفراغ الأساسي: 3.0 * 10 ^{- 4} باسكال

3. ضخ الوقت: من atm إلى 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)

4. مصدر ترسب: الكاثود متوازنة / غير متوازنة

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا

6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة تصل إلى أقصى الحدود. 450 ℃،

7. تنظيف البلازما والبلازما مساعدة ترسب: الأنود الخطي مصدر أيون

8. المغناطيسي مغلقة - حلقة المقدمة. (عدم التوازن / الكاثود التوازن)

9. التحيز امدادات الطاقة لتفريغ الوهج.

• بناء

آلة طلاء الفراغ تحتوي على نظام مكتمل مفتاح مدرج أدناه:

1. فراغ الغرفة
1.1 الحجم: القطر الداخلي 1200 ملم

الارتفاع الداخلي: 1300 مم

1.2 المواد: فراغ الغرفة SUS304

الباب والشفاه SUS304

غرفة تعزيز الهيكل: SS41 الصلب الطري ، مع الانتهاء من معالجة طلاء السطح.

هيكل غرفة SS41 الفولاذ الطري مع الانتهاء من معالجة سطح الطلاء.

1.3 درع الاخرق: SUS304

1.4 نافذة الرؤية: على باب الغرفة - 4 مجموعات (2 على كل باب)

1.5 صمام فراغ غرفة التهوية (بما في ذلك كاتم الصوت)

1.6 الباب: المواد SUS304

2. رو ghing فراغ نظام الضخ :

مضخة فراغ دوارة دوارة النفط + مضخة الجذور + مضخة القابضة (Leybold)

3. ارتفاع نظام ضخ فراغ :

المضخة الجزيئية للتعليق المغناطيسي (Leybold)

• بوابة الصمامات - 2 مجموعات

4. التحكم الكهربائي ونظام التشغيل - PLC + شاشة تعمل باللمس

4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح قاطع بدون فتيل ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة

4.2 مزود الطاقة المتقطع + مصدر طاقة أيون + مزود طاقة متحيز (طاقة متقدمة)

4.3 نظام التحكم ترسب الاخرق

4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC والتحكم في الوصفات وتسجيل البيانات والإغلاق التلقائي والإخلاء التلقائي والطلاء التلقائي

4.5 نظام القياس

ضغط الفراغ: قياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + قياس الفراغ الكامل المدى - ماركة أوروبا

جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية
MFC: جهاز التحكم في التدفق الشامل (4 طرق) ، وضع العرض الرقمي - علامة تجارية أوروبية

4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل

4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي

5 . نظام الترسيب

5.1 مصدر الترسب: كاثود الاخرق ، مصدر أيون - العلامة التجارية أوروبا

5.2 مواد الترسيب: الكربون الهدف

6. النظام الفرعي

6.1 نظام التحكم بالصمام المضغوط بالهواء

6.2 نظام مياه التبريد: أنبوب تدفق المياه ونظام تبديل الصمام

7. بيئة العمل

الهواء المضغوط: 5 ~ 8kg / cm2

مياه التبريد: درجة حرارة الماء: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لتر / دقيقة ،
ضغط الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،

الطاقة: 3 المرحلة 380V 50HZ (60HZ) ، 75KVA ، متوسط ​​استهلاك الطاقة: 40KW

منطقة التثبيت: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية

يرجى الاتصال بنا للحصول على المزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.