أجزاء معدنية زرقاء MF Sputtering System عبارة عن آلة متكاملة لمصادر الترسيب إلى الجرافيت العام والأسود النفاث واللون الأزرق وما إلى ذلك. يستخدم بشكل خاص في المنتجات الفاخرة الراقية مثل: الالكترونيات: الهواتف الذكية ، الكاميرا ، الكمبيوتر المحمول ، الجولف ، الملعقة ، الشوك ، السكين ، مقبض الباب ، الحنفيات ؛ الحلي من خواتم الاصبع ، قلادة ، خواتم الأذن ، أساور الخ
تحتوي الأجزاء المعدنية الزرقاء MF Sputtering System على عدة مصادر ترسب:
مصادر قوس دائري موجهة لتبخر هدف المعدن الصلب ؛
2 أزواج من الكاثودات غير المتوازنة MF غير المتوازنة لترسب طبقة رقيقة من الجرافيت ؛
Bias Power Supply لقصف أيون لتشكيل منطقة البلازما للمعالجة المسبقة ؛
وحدة مصدر أيون أنود الخطي (للاختياري)
Cryopump (Polycold) للتكثيف الجزيئي للماء (اختياري)
ما هو MF الاخرق؟
مقارنة بإفراغ التيار المستمر والترددات الراديوية ، أصبح التفاخر في منتصف التردد تقنية رئيسية لتفاخر غشاء رقيق للإنتاج الضخم للطلاء ، خاصة لترسيب الأغشية العازلة للأفلام العازلة وغير الموصلة على الأسطح مثل الطلاءات البصرية والألواح الشمسية والطبقات المتعددة ، فيلم المواد المركبة الخ
إنه يحل محل التمزق RF بسبب تشغيله بوحدة kHz بدلاً من MHz للحصول على معدل ترسيب أسرع بكثير ، كما يمكنه تجنب التسمم الهدف أثناء ترسب الأغشية الرقيقة المركبة مثل DC.
أهداف الاخرق MF موجودة دائما مع مجموعتين. يتم استخدام كاثودين مع تبديل التيار المتردد ذهابًا وإيابًا بينهما لتنظيف السطح المستهدف مع كل انعكاس لتقليل الشحن المتراكم على المواد العازلة التي تؤدي إلى الانحناء الذي يمكن أن ينثر قطرات في البلازما ويمنع نمو الغشاء الرقيق الموحد --- وهو ما نسميه الهدف التسمم.
MF الاخرق أداء النظام
1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 5.0 × 10 - 6 Tor.
2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10 - 4 تور.
3. ضخ الوقت: من 1 atm إلى 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4. المواد المعدنية (الاخرق + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr ، TiN ، TiC ، TiAlN ، CrN ، CrC ، إلخ.
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا
MF هيكل نظام الاخرق
آلة طلاء الفراغ تحتوي على نظام مكتمل مفتاح مدرج أدناه:
1. فراغ الغرفة
2. روجينج نظام ضخ فراغ (حزمة مضخة الدعم)
3. نظام ضخ الفراغ العالي (المضخة الجزيئية للتعليق المغنطيسي)
4. التحكم الكهربائي ونظام التشغيل
5. نظام مرفق المساعدة (النظام الفرعي)
6. نظام الترسيب: الكاثود MF الاخرق ، وامدادات الطاقة MF ، مصدر الطاقة أيون التحيز لاختياري
أجزاء معدنية زرقاء الديكور أحجام نظام الاخرق MF:
غرفة الحجم الداخلي: ضياء 1200 مم ~ 1600 ملم
غرفة الطول الداخلي: 1250mm ~ 1300mm
تتوفر أحجام الماكينات المخصصة أيضًا بناءً على الطلب المرتقب للمنتجات ثلاثية الأبعاد.
مواصفات نظام الترشيح MF RTAC1250-SPMF
| نموذج | RTAC1250-SPMF | ||||||
| تقنية | MF Magnetron Sputtering + Ion Plating | ||||||
| مواد | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) | ||||||
| حجم الغرفة | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| نوع الغرفة | اسطوانة ، عمودي ، 1 باب | ||||||
| نظام الاخرق | تصميم حصري لترسب فيلم أسود رقيق | ||||||
| مواد الايداع | الألومنيوم ، الفضة ، النحاس ، الكروم ، الفولاذ المقاوم للصدأ ، النيكل | ||||||
| مصدر الإيداع | مجموعتان من الأهداف MF Cylindrical Sputtering + 8 من مصادر القوس الكاثودي الموجه + مصدر أيون لاختياري | ||||||
| غاز | MFC- 4 طرق ، Ar ، N2 ، O2 ، C2H2 | ||||||
| مراقبة | PLC (التحكم المنطقي القابل للبرمجة) + | ||||||
| نظام المضخة | SV300B - مجموعة واحدة (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - مجموعة واحدة (Leybold) | |||||||
| مجموعة D60T - 1 (Leybold) | |||||||
| مضخات توربو الجزيئية: 2 * F-400/3500 | |||||||
| المعالجة الأولية | إمدادات الطاقة التحيز: 1 * 36 كيلو واط | ||||||
| نظام السلامة | العديد من السلامة المتشابكة لحماية المشغلين | ||||||
| تبريد | ماء بارد | ||||||
| الطاقة الكهربائية | 480 فولت / 3 مراحل / 60 هرتز (متوافق مع الولايات المتحدة الأمريكية) | ||||||
| 460 فولت / 3 مراحل / 50 هرتز (متوافقة مع آسيا) | |||||||
| 380V / 3 مراحل / 50HZ (متوافق مع الاتحاد الأوروبي - CE) | |||||||
| اثار | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| الوزن الكلي | 7.0 ت | ||||||
| اثار | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 ملم | ||||||
| دورة الزمن | 30 ~ 40 دقيقة (اعتمادا على المواد الركيزة ، الركيزة الهندسة والظروف البيئية) | ||||||
| أقصى القوة.. | 155 كيلو واط | ||||||
متوسط الطاقة الاستهلاك (APPROX) | 75 كيلو واط |
يرجى الاتصال بنا للحصول على المزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.
