رويال تكنولوجى مالى 950
——PVD + آلة ترسيب الفراغ PECVD
ال آلة Multi950 عبارة عن نظام ترسيب فراغ متعدد الوظائف مخصص للبحث والتطوير.
بعد التبادلات المكثفة مع فريق جامعة شنغهاي بقيادة البروفيسور تشين ، أكدنا أخيرًا التصميم والتكوين لتلبية تطبيقات البحث والتطوير الخاصة بهم.هذا النظام قادر على ترسيب فيلم DLC الشفاف من خلال عملية PECVD ، والطلاء الصلب على الأدوات ، والفيلم البصري مع الكاثود المتطاير.بناءً على مفهوم تصميم الماكينة التجريبية ، قمنا بتطوير 3 أنظمة طلاء أخرى بعد ذلك:
1. طلاء ثنائي القطب للمركبات الكهربائية بخلايا الوقود- FCEV1213
2. نحاس مطلي بالسيراميك- DPC1215
3. نظام رش مرن- نظام طلاء الذهب بالنحاس ثنائي الفينيل متعدد الكلور
تحتوي جميع هذه الآلات الثلاثة على حجرة مثمنة ، والتي تتيح أداءً مرنًا وموثوقًا في مختلف التطبيقات.إنه يلبي عمليات الطلاء ويتطلب العديد من الطبقات المعدنية المختلفة: Al و Cr و Cu و Au و Ag و Ni و Sn و SS والعديد من المعادن غير المغناطيسية الأخرى.بالإضافة إلى وحدة مصدر Ion ، تعزز بكفاءة التصاق الأفلام على مواد الركيزة المختلفة من خلال أداء النقش بالبلازما وعملية PECVD لترسيب بعض الطبقات القائمة على الكربون.
يعد Multi950 علامة فارقة في أنظمة طلاء التصميم المتقدمة للتكنولوجيا الملكية.بفضل طلاب جامعة شنغهاي والبروفيسور Yigang Chen الذي قادهم بتفانيه الإبداعي ونكران الذات ، تمكنا من تحويل معلوماته القيمة إلى آلة من أحدث طراز.
في عام 2018 ، كان لدينا مشروع تعاون آخر مع البروفيسور تشين ،
ترسيب المواد C-60 بطريقة التبخر الحراري الاستقرائي.
كان السيد Yimou Yang والبروفيسور Chen أساسيين في هذه المشاريع المبتكرة.
المزايا الفنية
ميزات التصميم
1. المرونة: قوس وكاثود الرش ، حواف تركيب مصدر الأيونات موحدة للتبادل المرن
2. براعة: يمكن أن تودع مجموعة متنوعة من المعادن الأساسية والسبائك.الطلاءات الضوئية والطلاء الصلب والطلاء الناعم والأفلام المركبة وأفلام التشحيم الصلبة على ركائز المواد المعدنية وغير المعدنية
3. تصميم مستقيم للأمام: هيكل ببابين ، فتح أمامي وخلفي لسهولة الصيانة
المواصفات الفنية
الموديل: Multi-950
غرفة الترسيب (مم)
القطر × الارتفاع: φ950 × 1350
مصادر الترسيب: 1 زوج من كاثودات MF الاخرق
1 زوج من PECVD
8 مجموعات قوس كاثودات
1 مجموعة مصدر أيون خطي
منطقة توحيد البلازما (مم): φ650 x H750
دائري: 6 × 300
القوى (KW) الانحياز: 1 × 36
قوة الرش MF (KW): 1 × 36
PECVD (KW): 1 × 36
القوس (KW): 8 × 5
مصدر أيون (KW): 1 × 5
نظام التحكم بالغاز MFC: 4 + 1
نظام التسخين: 18KW ، حتى 500 ، مع تحكم حراري PID
صمام بوابة فراغ عالية: 2
المضخة الجزيئية التوربينية: 2 × 2000 لتر / ثانية
مضخة الجذور: 1 × 300 لتر / ثانية
مضخة دوارة دوارة: 1 x 90 m³ / h + 1 x 48 m³ / h
البصمة (الطول × العرض × الارتفاع) مم: 3000 * 4000 * 3200
إجمالي الطاقة (KW): 150
تَخطِيط
وقت الإنشاء: 2015
المكان: جامعة شنغهاي ، الصين