عالية الكثافة المغنطرون ترسب نظام الترسيب لفيلم تكوين مسعور ، PECVD آلة الاخرق

فيلم تركيبة مسعور والأفلام وظيفية أخرى نظام الترسيب الاخرق

التطبيقات:

إن آلة RTSP1213 هي عبارة عن نظام خلط للفرز ، يمكن أن ترسب طبقات صلبة مختلفة ، طبقات ناعمة ، أفلام مركبة وأفلام تشحيم صلبة على ركائز المواد المعدنية وغير المعدنية. تطبق على صناعات مركبات خلايا الوقود الهيدروجينية ، والمنتجات الضوئية ، والفضاء وغيرها من صناعات الطاقة الجديدة.

الخصائص:

لتحسين الموصلية السطحية ؛

مقاومة عالية للتآكل

مقاومة التآكل العالية

صلابة عالية

فيلم تركيبة hydrophobic والأفلام الفنية الأخرى

متاح للطلاء مركب: الأفلام المعدنية وغير المعدنية.

يتراوح سمك الفيلم من 100nm إلى 12μm ، وتحمل سمك ± 5٪
التصاق قوي.

انخفاض أجزاء تقسية المعالجة السطحية تصلب.

اكتب:

اتجاه عمودي ، هيكل متعدد الوجوه ، بابين (أمامي وخلفي)

ميزات:

• نظام صديق للبيئة ، لا مياه الصرف الصناعي ، تلوث الهواء والضوضاء.
• عملية سهلة: شاشة تعمل باللمس + التحكم PLC وبرنامج فريد من نوعه لعملية واحدة تعمل باللمس ، وأكثر من 80 ٪ من المتاعب إنذار إطلاق النار.
• ما يصل إلى 10 وصفات معالجة تسجيل الدخول والنسخ الاحتياطي ؛ تكرار عالية والتنوع.
• تصميم خاص لنظام كاروسيل من أجل التوحيد العالي لترسب الأفلام.
• إنتاجية عالية وجودة عالية
• نظام مستقر وموثوق ، يعمل على مدار 365 يومًا * 24 ساعة (وقت الصيانة والإصلاح)
• نظام ضخ الكفاءة: خطوط الأنابيب فراغ أقصر لسرعة الأنابيب القصوى مع مضخات العلامة التجارية أوروبا معروفة
• تحتل التصميم المضغوط مساحة التثبيت الدنيا.

المواصفات الفنية

• أداء

1. في نهاية المطاف فراغ الضغط: أفضل من 8.0 * 10 ^-5 باسكال ؛

• ضغط الفراغ الأساسي: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. ضخ الوقت: من atm إلى 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)

4. مصدر الترسيب: كاثودات الاخرق متوازنة / غير متوازنة

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي

6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة تصل إلى الحد الأقصى. 450 ℃،

7. تنظيف البلازما وترسيب مساعدة البلازما: الأنود مصدر أيون الخطي

8. المغناطيسي مغلقة - قدمت حلقة. (عدم الاتزان / توازن كاثودات)

9. التحيز امدادات الطاقة لتوهج التفريغ.

• بناء

تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مدرج أدناه:

1. غرفة فراغ
1.1 الحجم: القطر الداخلي 1200mm

الطول الداخلي: 1300mm

1.2 المواد: غرفة فراغ SUS304

الباب والشفاه SUS304

هيكل تعزيز الغرفة: الفولاذ الطري SS41 ، مع معالجة السطح التشطيب المطلي.

هيكل الغرفة الفولاذ المقاوم للصدأ SS41 مع الانتهاء من طلاء سطح المعالجة.

1.3 Sputtering Shield: SUS304

1.4 نافذة عرض: على باب الغرفة - 4 مجموعات (2 على كل باب)

1.5 صمام تنفيس غرفة الفراغ (بما في ذلك كاتم الصوت)

1.6 باب: SUS304 مادة

2. نظام الرو غنغ فراغ ضخ :

مضخة دوارة فراغ مضخة دوارة + مضخة جذور + عقد مضخة (ليبولد)

3. ارتفاع نظام ضخ الفراغ :

مضخة جزيئية تعليق المغناطيسي (Leybold)

• صمامات البوابة - مجموعتان

4. نظام التحكم الكهربائي والتشغيل - PLC + شاشة تعمل باللمس

4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح مجزء لا فيوز ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة

4.2 إمداد الطاقة الاخرق + مصدر طاقة أيون + مصدر طاقة متحيز (الطاقة المتقدمة)

4.3 نظام التحكم في ترسيب الاخرق

4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC ، التحكم في الوصفة وتسجيل البيانات ، إيقاف التشغيل التلقائي ، الإخلاء التلقائي ، طلاء السيارات

4.5 نظام القياس

فراغ الضغط: قياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + مقياس الفراغ مجموعة كاملة - أوروبا العلامة التجارية

جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية
MFC: Mass Flow Controller (4 طرق) ، وضع العرض الرقمي - الماركة الأوروبية

4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل

4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي

5 . نظام الترسيب

5.1 مصدر الترسيب: الأخرق كاثودات ، مصدر أيون - أوروبا العلامة التجارية

5.2 مادة الترسيب: هدف الكربون

6. النظام الفرعي

6.1 نظام التحكم في صمام الهواء المضغوط

6.2 نظام مياه التبريد: أنابيب تدفق المياه ونظام صمام التبديل

7. بيئة العمل

الهواء المضغوط: 5 ~ 8KG / CM2

مياه التبريد: المياه في درجة الحرارة: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لتر / دقيقة ،
ضغط الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،

الطاقة: 3 المرحلة 380V 50Hz (60Hz) ، 75kVA ، متوسط ​​استهلاك الطاقة: 40KW

منطقة التركيب: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية

يرجى الاتصال بنا للحصول على المزيد من المواصفات ، يشرفنا شركة رويال تكنولوجي بأن نقدم لكم حلول طلاء كاملة.