نظام ترسيب الأغشية الرقيقة PVD بالاختراق وطلاء الفراغ بالتبخير الحراري آلة طلاء PVD ذات إنتاجية عالية

نظام الترطيب الرقيق للأفران الرقيقة PVD و جهاز التبخير الحراري بالبخار PVD

نظام الترسيب للأغشية الرقيقة من PVD ، معدات طلاء الفراغ الحراري والتبخير الحراري

يحتوي نظام ترسيب الأغشية الرقيقة PVD على مصادر ترسيب لمصدر تبخر خيوط التنغستن ومصادر ترسيب مغنطرونية DC (كاثودات الرش RF هي للخيار). تستخدم هذه الغاية في الغالب لإيداع الأغشية الرقيقة على الأجزاء البلاستيكية ، الزجاج ، المعادن أو الرقاقات بمواد الإيداع مثل: المعادن النقية Al ، Cr ، Cu ، Ag ، Au ، Ti الخ. مصادر التبخر بشكل عام للحصول على أفلام رقيقة عاكسة عالية على المنتجات الأسطح أو الأفلام موصل ، أو إعطاء صورة النظرة المعدنية. باستثناء ذلك ، فإن مصادر الاخرق تتكثف مجموعة واسعة من مواد أشباه الموصلات والمواد العازلة بما في ذلك أكاسيد موصلة شفافة ، إلخ.

توصيف نظام الترطيب الرقيق باستخدم PVD:

أداء

1. أقصى ضغط فراغ: أفضل من 5.0 × 10 ^-6 Torr.

2. ضغط التشغيل التشغيلي: 1.0 × 10 ^-4 Torr.

3. ضخ الوقت من 1 إلى 1.0 × 10 ^-4 Torr≤3 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)

4. metalizing المواد (التبخر): al ، cr ، sn ، ti ، ss ، cu. الخ.

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي

لتر الهيكل

تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مدرج أدناه:

1. غرفة فراغ
1.1 الحجم: القطر الداخلي 1600mm

الطول الداخلي 1600 ملم

1.2 المواد: غرفة فراغ SUS304 (SS41 الفولاذ الطري للخيار)

الباب والشفاه SUS304 (SS41 الفولاذ الطري للخيار)

هيكل تعزيز الغرفة: الفولاذ الطري SS41 ، مع معالجة السطح التشطيب المطلي.

هيكل الغرفة الفولاذ المقاوم للصدأ SS41 مع الانتهاء من طلاء سطح المعالجة.

1.3 الدرع: SUS304

  1.4 نافذة العرض: على باب الغرفة

1.5 صمام تنفيس غرفة الفراغ ، بما في ذلك كاتم الصوت

1.6 باب SUS304 المواد

2. نظام الشحن التفريغ الضخ

3. ارتفاع نظام ضخ الفراغ

4. نظام التحكم الكهربائي والتشغيل - PLC + شاشة تعمل باللمس

4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح مجزء لا فيوز ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة

4.2 طاقة التبخير: 35kVA

4.3 نظام التحكم في التبخر

4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC ، التحكم في الوصفة وتسجيل البيانات ، إيقاف التشغيل التلقائي ، الإخلاء التلقائي ، طلاء السيارات

4.5 نظام قياس ضغط الفراغ

مقياس الفراغ: Pirani + Penning gauge

مقياس حراري: 760 Torr ~ 5 * 10 ^-4 Torr

4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل

4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي

5. نظام الترسيب

5.1 مصدر التبخر خيوط التنغستن

5.2 مواد التبخر الحراري: الأسلاك والخواتم والقضبان الخ

5.3 مصادر الرش (مدفوعة بالقدرة DC / MF)

6. النظام الفرعي

6.1 نظام التحكم في صمام الهواء المضغوط

6.2 نظام مياه التبريد وأنابيب تدفق المياه ونظام صمام التبديل

تعرف على المزيد حول الماكينة والتطبيقات المتاحة ، يرجى الاتصال بنا الآن.