آلة طلاء فيلم ITO، نوع الحمام ITO فيلم مغناطيسية طلاء الرذاذ / الزجاج ITO آلة ترسب
آلة طلاء الفيلم ITOالتطبيقات القياسية: البيت، الزجاج، لتوليد طبقات طلاء ITO.
وقت بناء الآلة: 2012، الصين.
التطبيق: فيلم AR ، فيلم ITO.
قطع العمل:
الحجم: 300 ملم * 100 ملم
سمك البيت: 0.175mm +/- 0.05mm
*سمك فيلم ITO:185nm+/-5nm
مقاومة الصفحة: 6 ~ 8ohm / مربع
آلة طلاء الفيلم ITOالتكوينات التقنية:
1) مصادر التدفق المتردد: Cu ، Al ، ITO
2) مصادر التدفق الالكتروني
3) مضخة توربو جزئية + مجموعة مضخة الظهر
4) مجال مغناطيسي عالي الكثافة لتحسين جودة فيلم ITO ، معدل الاستخدام المستهدف > 30%
5) المستهدف من مستوى استغلال Cu، Al، Si > 35%
6) معدل الترسب: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) منطقة توحيد التنقيط: 350mm
الرجاء الاتصال بنا لمزيد من المواصفات، تكنولوجيا الملكية يشرفنا لتوفير لكم حلول الطلاء الكاملة.
