نظام ترسيب الاخرق المغنطروني النحاسي ، طلاء مباشر كوبر على ركائز سيراميك LED

أداء

1. ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10^-6تور.

2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10^-4تور.

3. وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10^-4Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، حجرة جافة ونظيفة وفارغة)

4. المواد المعدنية (الاخرق + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr إلخ.

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي

بنية

تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مذكور أدناه:

1. غرفة فراغ

2. نظام الضخ بالفراغ Rouhging (حزمة مضخة دعم)

3. نظام ضخ الفراغ العالي (مضخة جزيئية تعليق مغناطيسي)

4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي

5. نظام المرافق المألوفة (النظام الفرعي)

6. نظام الترسيب

ميزات آلة طلاء النحاس الاخرق

1. مُجهزة بـ 8 كاثودات قوس توجيه و كاثودات ترشيح بالتيار المستمر ، كاثودات رشاش MF ، وحدة مصدر أيون.

2. طلاء متعدد الطبقات وطلاء مشترك متوفر

3. مصدر أيوني للمعالجة المسبقة لتنظيف البلازما وترسيب بمساعدة شعاع الأيونات لتعزيز التصاق الفيلم.

4. وحدة تسخين ركائز سيراميك / Al2O3 / AlN ؛

5. دوران الركيزة ونظام الدوران ، لطلاء جانب واحد وطلاء من جانبين.

يسمى DPC بالنحاس المطلي المباشر ، والمعروف أيضًا باسم ركائز تصفيح النحاس المباشر.عملية DPC:

1. أولاً ، احصل على نحاس مطلي على ركيزة خزفية مباشرةً باستخدام تقنية PVD.يحتوي على تنظيف بالبلازما ، خطوات ترسيب برذاذ النحاس ، والتي تولد طبقة من طبقة نحاسية رفيعة على رقائق السيراميك ؛

2. ثانيًا هو الرسم البياني للتعرض ، والتطوير ، والحفر ، وإزالة الفيلم ؛

3. أخيرًا ، استخدم عملية الطلاء بالكهرباء / الطلاء الكيميائي لزيادة سماكة فيلم الترسيب حتى تتم إزالة مقاوم الضوء ، وتنتهي عملية التمعدن.

ميزات الركيزة الخزفية لعملية DPC:

1. تكلفة إنتاج أقل بكثير.

2. أداء متميز في الإدارة الحرارية ونقل الحرارة

3. محاذاة دقيقة وتصميم النمط ،

4. ارتفاع كثافة الدائرة

5. التصاق جيد وقابلية اللحام

نظرًا لهذه الأداء المتقدم ، تُستخدم ركائز DPC على نطاق واسع في العديد من التطبيقات:

LED عالي السطوع لزيادة العمر الافتراضي بسبب ارتفاعهالإشعاع الحراريالأداء ، معدات أشباه الموصلات ، الاتصالات اللاسلكية بالميكروويف ، الإلكترونيات العسكرية ، ركائز أجهزة الاستشعار المختلفة ، الفضاء ، النقل بالسكك الحديدية ، الطاقة الكهربائية ، إلخ

تم تصميم معدات RTAC1215-SP حصريًا لعملية DPC التي تحصل على الطبقة النحاسية على الركائز.تستخدم هذه المعدات مبدأ الترسيب الفيزيائي للبخار PVD ، مع تقنيات الطلاء الأيوني متعدد القوس وتقنيات رش المغنطرون للحصول على الفيلم المثالي بكثافة عالية ومقاومة عالية للتآكل وصلابة عالية وربط قوي في بيئة فراغ عالية.إنها الخطوة الحاسمة لعملية DPC للراحة.

الاخرق الكاثود:

تنظيف البلازما المصدر الأيوني

يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتزويدك بحلول الطلاء الكاملة.