آلة ترسيب فيلم التدريع EMI ، نظام التبخر الحراري متعدد الوظائف ونظام الطلاء بالرشاشات DC

ملخص:

تم تصميم آلة تعدين الفراغ RTEP1616-SPDC خصيصًا لترسب الأغشية الرقيقة التي تحمي EMI ، والتي تستخدم على نطاق واسع في أجهزة الاتصالات السلكية واللاسلكية ، وأجهزة الكمبيوتر ، وأجهزة الكمبيوتر المحمولة ، والإلكترونيات الاستهلاكية ، والأجهزة المنزلية ، والفضاء ، والعناصر العسكرية.

عملاؤنا هم: Sumgsung و Apple و Lenovo و Huawei وتصنيع الإلكترونيات.

يمكن أن يستوعب قطر حجم الغرفة 1600 مم وارتفاعها 1600 مم مجموعة متنوعة من المنتجات.

خصائص فيلم التدريع EMI

1) سمك الفيلم: 1.5 ~ 3 ميكرون يعتمد على المتطلبات.

2) مقاومة الفيلم: (أوم) أفضل من 0.5Ω

3) التصاق: 3M810 الشريط> 5B

عملية طلاء فيلم التدريع EMI

4) DC الاخرق الفولاذ المقاوم للصدأ

5) ترسيب النحاس بالتبخير الحراري

6) DC الاخرق الفولاذ المقاوم للصدأ ، غطاء كامل على طبقة فيلم النحاس.

ميزات حماية التداخل الكهرومغناطيسي

1) هيكل ببابين وسرعة ضخ عالية لإنتاجية عالية
2) تشغيل لوحة شاشة تعمل باللمس مع تحكم PLC

3) تصميم برنامج صديق للإنسانية لإنتاج مستقر وجودة عالية.

4) معدل استخدام الهدف الاخرق العالي يضمن انخفاض تكلفة الإنتاج.

5) التوحيد الجيد والتصاق ممتاز

6) مفهوم التصميم المتقدم لأداء أفضل لتعزيز كفاءة الإنتاج والمعدل المؤهل.

7) جهاز مصدر أيوني لتنظيف البلازما ومعالجة نشاط السطح لتحسين الالتصاق.

مزايا تعدين فراغ PVD:

يتم ترسيب التشطيبات باستخدام عملية خضراء صديقة للبيئة ، خالية من التلوث ؛
كفاءة عالية وتوحيد ممتاز.
إنتاج بكميات كبيرة ، تكلفة منخفضة ، حل مثالي لطلب الإنتاج الضخم.

أداء طلاء EMI

مواد الطلاء: Ni ، Cr ، Cu ، مواد الفولاذ المقاوم للصدأ.

سماكة الفيلم: 1.5 ~ 3 ميكرون يعتمد على المتطلبات.

مقاومة الفيلم: (أوم) أفضل من 0.5Ω

التصاق: 3M810 الشريط> 5 ب

اكتب:

• اتجاه رأسي ، اسطوانة ، هيكل ببابين ، فتحة أمامية.

المواصفات الفنية:

• أداء

1. ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10^-6 تور.

2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10^-4 تور

3. وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10^-4 Torr≤5 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، حجرة جافة ونظيفة وفارغة)

4. المواد المعدنية (التبخر): الفولاذ المقاوم للصدأ والنحاس

5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي

• بنية

تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مذكور أدناه:

1. غرفة فراغ
1.1 الحجم: القطر الداخلي 1600 مم

الارتفاع الداخلي: 1600 مم

ارتفاع مفيد: 1265 ملم

الارتفاع الكلي: 1420 ملم

1.2 المواد: فراغ غرفة SUS304

الباب والفلنجات SUS304

هيكل تقوية الغرفة: الفولاذ الطري SS41 ، مع معالجة السطح المطلي.

هيكل الغرفة SS41 من الفولاذ الطري مع معالجة سطحية مطلية.

1.3 درع الاخرق والتبخر: SUS304

1.4 نافذة الرؤية: على أبواب الغرفة

1.5 صمام تنفيس غرفة الفراغ (بما في ذلك كاتم الصوت)

1.6 الباب: SUS304 قطر المادة 1600 ملم الارتفاع الداخلي: 1600 ملم

1.7 نظام قيادة الترسيب: القيادة المركزية كحد أقصى.1400 مم * 1265 مم

1.8 محرك القيادة: 1 / 2HP

1.9 قوة التبخر: 1 مجموعة / باب

تيار مستمر قوة الاخرق: 1 مجموعة

حجم الكاثود الاخرق: 125 * 1400mm

2. نظام ضخ الفراغ Rouhging

2.1 مضخة فراغ دوارة محكمة الغلق بالزيت - ليبولد

أ: سرعة الضخ: 640 م³ / ساعة

2.2 مضخة الجذور - ليبولد

سرعة الضخ: 4400 م00 / ساعة

2.3 صمام تفريغ خشن: نموذج هوائي

2.4 خط الأنابيب الفراغي: 6 و 8 "SUS304 مادة

2.5 صمام تنفيس الفراغ: 3/8 "نموذج كهرومغناطيسي

3. نظام ضخ فراغ عالية

3.1 مضخة نشر الزيت: RTDP-36

أ.سرعة الضخ: 40000 لتر / ثانية

ب.ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 10^-7 تور.

ج.قوة التسخين: 3 مراحل ، 21 كيلو وات.

د.استهلاك الزيت: 9 لترات

3.2 المصيدة الباردة: 36 بوصة ، تبريد الماء ضد تدفق الزيت

3.3 صمام تفريغ عالي: هوائي

3.4 صمام الخط الأمامي: هوائي

4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي

4.1 الدائرة الرئيسية: مفتاح قاطع بدون فتيل ، مفتاح كهرومغناطيسي ،
C / T في نوع السلسلة

4.2 قوة التبخر

4.3 نظام التحكم في التبخر

4.4 قوة الرش ، نموذج التيار المستمر

4.5 نظام التحكم: PLC + شاشة تعمل باللمس تلقائي / يدوي

4.6 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + شاشة عرض

4.7 نظام قياس ضغط الفراغ

مقياس الفراغ: مركز ليبولد اثنان - 1 مجموعة

مقياس المدى الكامل: 760 تور ~ 10^-7 تور - 1 مجموعة

4.8 نظام الإنذار:

ضغط الهواء المضغوط أقل: صوت التنبيه

تدفق مياه التبريد أقل: صوت التنبيه

سوء التشغيل: صوت التنبيه

4.9 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي

5. النظام الفرعي

5.1 نظام التحكم بصمام الهواء المضغوط

5.2 نظام مياه التبريد: أنبوب تدفق المياه ونظام صمام التبديل

5.3 Polycold (-120 ~ -145 ℃) Cryopump - مجموعة واحدة

الموديل: MaxCool- 2500L

أقصى حمولة :: 2500 واط

سرعة الضخ: 14000 لتر / ثانية.

6. نظام الترسيب

6.1 مصدر الاخرق

أ.الهدف الاخرق "125 مم * 1400 مم * 12 ~ 14 مم - مجموعة واحدة

ب.مصراع - 1 مجموعة

ج.وحدة التحكم في التدفق الشامل: Ar gas - 1 مجموعة

د.الاخرق امدادات الطاقة: DC 60KW - 1 مجموعة

6.2 مصادر التبخر

أ.مصادر تبخر التنغستن

ب.مصدر طاقة التبخر: 20 كيلو فولت أمبير

ج.جهاز مصدر أيون وإمدادات الطاقة

• بيئة العمل

هواء مضغوط: 5 ~ 8 كجم / سم²

مياه التبريد: درجة حرارة دخول الماء: 20 ~ 25، 200 لتر / دقيقة،
ضغط دخول الماء: 2 ~ 3 كجم / سم²

الطاقة: 3 مراحل 380 فولت 50 هرتز (60 هرتز) ، 160 كيلو فولت أمبير

منطقة التثبيت: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 مم

العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية

لقد سعينا جاهدين لتصميم وتطوير أنسب عمليات الطلاء للأجزاء ثلاثية الأبعاد المختلفة ، والتي تلبي متطلبات الإنتاج لعملائنا.لذلك نحن نقدم حلول طلاء كاملة لطلاء EMI.

إذا كان نظام الطلاء المخصص مطلوبًا ، فيرجى مشاركة أفكارك وأفكارك مع فريقنا وتقديم مواصفات منتجاتك ، وسنعمل معًا لفرز أفضل الحلول.

خدمة طلاء EMI متاحة ، آلة طلاء EMI

يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتزويدك بحلول الطلاء الكاملة.