في المشهد المتطور للتصنيع المتقدم وعلوم المواد، لم يكن الطلب على الأغشية الرقيقة عالية الأداء والمتينة ومتعددة الوظائف أكبر من أي وقت مضى. يواجه الباحثون والمطورون التحدي المستمر المتمثل في العثور على المعدات التي لا توفر الدقة والجودة فحسب، بل توفر أيضًا تنوعًا وموثوقية لا مثيل لهما للتطبيقات المتطورة. أدخل آلة طلاء أيوني PVD – وهي تقنية أساسية لتحقيق التصاق وتكثيف ونقاء فائقين للأغشية. في طليعة هذا الابتكار، ROYAL Multi950، وهو نظام ترسب فراغي هجين PVD و PECVD مصمم لتجاوز قيود الطلاء التقليدية. هذه الآلة ليست مجرد أداة؛ إنها منصة بحث وتطوير شاملة ولدت من التعاون الأكاديمي ومصممة لمستقبل هندسة الأسطح.
على عكس طرق PVD القياسية، يستخدم الطلاء الأيوني بيئة بلازما عالية الطاقة حيث تشارك الأيونات بنشاط في عملية تكوين الفيلم. يدمج Multi950 هذا بقوة من خلال 8 مجموعات من المهابط القوسية و مصدر أيونات خطي مخصص. يضمن هذا المزيج تأين البلازما المكثف، مما يؤدي إلى أفلام ذات خصائص استثنائية:
يوفر مصدر الأيونات نقشًا قويًا للبلازما وقصفًا أيونيًا قبل وأثناء الترسيب. يؤدي هذا إلى تنظيف الركيزة على المستوى الذري وإنشاء واجهة متدرجة، مما يؤدي إلى التصاق الفيلم الذي يتحمل الإجهاد الميكانيكي الشديد والدورات الحرارية.
تعزز الأيونات عالية الطاقة التي تصل إلى سطح الركيزة نمو الفيلم الكثيف والخالي من الفراغات. ينتج عن هذا طلاءات ذات صلابة ممتازة ومقاومة للتآكل وخصائص بصرية، وهي ضرورية للتطبيقات من الأفلام الصلبة الواقية إلى المرشحات البصرية الدقيقة.
يعمل الترسيب بمساعدة الأيونات على تحسين قوة الرمي، مما يسمح بتغطية طلاء أكثر اتساقًا على الأشكال الهندسية المعقدة، بما في ذلك الأدوات ذات الحواف الحادة أو الميزات المنخفضة.
عبقريته تكمن في الوحدات النمطية القياسية. تم تصميم المهابط القوسية والرش، جنبًا إلى جنب مع حواف مصدر الأيونات، لتبادل مرن. هذا يعني أنه يمكن تكييف نفس النظام الأساسي بسهولة بين:
لطلاءات فائقة الصلابة ومقاومة للاهتراء مثل TiN أو CrN أو DLC.
لطلاءات معدنية وعازلة بصرية عالية الجودة ومنخفضة الإجهاد.
لترسيب أفلام متقدمة قائمة على الكربون، مثل DLC الشفاف، في درجات حرارة منخفضة، وهي مثالية للركائز الحساسة.
تتيح إمكانية PVD/PECVD الهجينة هذه إنشاء أفلام متعددة الطبقات ونانو مركبة جديدة في دورة ضخ واحدة، مما يجمع بين أفضل خصائص التقنيات المختلفة.
إنه يلبي العمليات التي تتطلب طبقات معدنية متنوعة (Al و Cr و Cu و Au و Ag و Ni) ومركبات على ركائز معدنية أو غير معدنية. لقد أدى تصميمه المثبت إلى ظهور أنظمة متخصصة لتطبيقات الحدود، مما يدل على تنوعه الأساسي:
لأجهزة الاستشعار والشاشات عبر الرش المغناطيسي.
لأغراض مقاومة التآكل والانعكاس.
لقطاعات مثل الفضاء والسيارات والأجهزة الطبية الحيوية.
يقع النظام في مساحة صغيرة (3000 × 4000 × 3200 مم)، ولا يتنازل عن الطاقة. مع إجمالي طاقة 150 كيلو واط، فإنه يتميز بـ منطقة توحيد البلازما φ650 × H750 مم ونظام تسخين 500 درجة مئوية مع التحكم PID للإدارة الحرارية الدقيقة. مدعومًا بـ ضمان محدود لمدة عام واحد ودعم مدى الحياة للآلة، تمتد شبكة الخدمة العالمية لـ ROYAL TECH من أوروبا (بولندا) إلى آسيا (الهند وإيران وتركيا) والأمريكتين (المكسيك)، مما يضمن الدعم الميداني الخبير والتدريب على تشغيل الآلة والصيانة ووصفات عملية الطلاء.
آلة الترسيب الفراغي الهجينة ROYAL Multi950 هي أكثر من مجرد آلة طلاء أيوني PVD؛ إنه استثمار استراتيجي في الابتكار. إنها تمكن أقسام البحث والتطوير وخطوط الإنتاج التجريبية من استكشاف مجموعات مواد جديدة وتحسين العمليات وتطوير طلاءات خاصة بسرعة ومرونة. من خلال دمج الطلاء الأيوني PVD والرش DC/MF و PECVD في نظام واحد موثوق به ومعياري، فإنه يلغي الحاجة إلى أنظمة مخصصة متعددة، مما يقلل التكلفة ويسرع الوقت اللازم للتسويق.
هل أنت مستعد لإعادة تحديد حدود قدرات الطلاء الخاصة بك؟ اتصل بـ ROYAL TECH اليوم لمناقشة كيف يمكن تصميم النظام الهجين Multi950 (OEM/ODM متاح) لتلبية تحديات التطبيقات المحددة الخاصة بك. اطلب استشارة تفصيلية أو مستندًا فنيًا لاستكشاف مستقبل الترسيب الفراغي.
