نظام ترسيب الفراغ PVD + PECVD ، طلاء فيلم DLC بواسطة عملية PECVD

التكنولوجيا الملكية Multi950
آلة ترسب الفراغ PVD + PECVD

آلة Multi950 هي نظام ترسب فراغ متعدد الوظائف مخصص للبحث والتطوير.

بعد تبادلات مكثفة مع فريق جامعة شنغهاي بقيادة البروفيسور تشن، أكدنا أخيراً التصميم والتكوين لتلبية تطبيقات البحث والتطوير الخاصة بهم.هذا النظام قادر على إيداع فيلم DLC شفاف مع عملية PECVDبناءً على هذا المفهوم التجريبي لتصميم الآلة، قمنا بعد ذلك بتطوير 3 أنظمة طلاء أخرى:

1طلاء صفيحة ثنائية القطب للسيارات الكهربائية ذات الخلايا الوقودية- FCEV1213

2السيراميك المصفوفة مباشرة النحاس- DPC1215

3نظام التبويب المرن - نظام طبقة الذهب لـ PCB النحاسي

هذه الآلات الثلاث جميعها لديها غرفة ثمانية الأطراف، والتي تسمح بأداء مرن وموثوق بها في تطبيقات مختلفة.,Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS والعديد من المعادن غير المغناطيسية الأخرى. بالإضافة إلى وحدة مصدر الأيون،يعزز بفعالية صلابة الأفلام على مواد الركيزة المختلفة مع أدائها الحفر البلازما، عملية PECVD لإيداع بعض طبقات الكربون.

الـ (مولي 950) هو علامة فارقة في أنظمة طلاء التصميم المتقدم لـ (رويال تكنولوجيا)شكرًا لطلاب جامعة شنغهاي و البروفيسور (يغانغ تشن) الذي يقودهم بإبداعه وتفانيه، كنا قادرين على تحويل معلومات قيمة له إلى حالة من الآلة الفنية.

في عام 2018، كان لدينا مشروع تعاون آخر مع البروفيسور تشن،
ترسب المواد C-60 عن طريق طريقة التبخر الحراري التحفيزي.
السيد يمو يانغ والبروفيسور تشن كانا أساسيان لهذه المشاريع المبتكرة.

المزايا التقنية

• بصمة صغيرة
• التصميم النموذجي القياسي
• مرنة
• موثوق بها
• هيكل الغرفة الثمانية الأطراف
• هيكل ذو بابين لسهولة الوصول
• عمليات PVD + PECVD

خصائص التصميم

1المرونة: القوس والكاثودات الرشاشة ، يتم توحيد شظايا تركيب مصدر الأيونات للتبادل المرن

2التنوع: يمكن أن يضع مجموعة متنوعة من المعادن والسبائك العادية؛ الطلاء البصري، الطلاء الصلب، الطلاء الناعم،الأفلام المركبة والأفلام التشحيمة الصلبة على الأساسيات المعدنية وغير المعدنية

3تصميم مستقيم للأمام: بنية بابين، فتح الأمام والخلف لسهولة الصيانة

المواصفات التقنية

النموذج: Multi-950

غرفة الترسب (ملم)

قطر × ارتفاع: φ950 × 1350

مصادر الترسب: 1 زوج من كاثودات التنقيط

1 زوج من PECVD

8 مجموعات من كاثودات القوس

1 مجموعة مصدر آيون خطي

منطقة توحيد البلازما (ملم): φ650 x H750

الدراجة: 6 xφ300

القوى (كيلوواط) التحيز: 1 × 36

قوة التدفق (KW): 1 × 36

PECVD (KW): 1 × 36

القوس (كيلوواط): 8 × 5

مصدر الأيونات (KW): 1 × 5

نظام تحكم الغاز MFC: 4 + 1

نظام التدفئة: 18 كيلوواط، تصل إلى 500 درجة مئوية، مع التحكم في زوج الحرارة PID

صمام بوابة فراغ عالي: 2

مضخة تركيبية جزئية: 2 × 2000L/S

مضخة الجذور: 1 × 300L / S

مضخة الفانز الدوارة: 1 × 90 م3/س + 1 × 48 م3/س

البصمة (L × W × H) ملم: 3000 * 4000 * 3200

الطاقة الإجمالية (كيلوواط): 150

التخطيط