التخصيص لتلبية الطلب الخاص بك
التوحيد القياسي لخفض تكلفة الإنتاج
- نحن نركز على التطبيقات أكثر
2-MultiTech- طلاء فيلم أسود DLC IPG.pdfيرجى تحميل الكتيب هنا لمزيد من المعلومات
ما هو MF الاخرق؟
بالمقارنة مع DC و RF الاخرق ، أصبح الاخرق متوسط التردد تقنية رش غشاء رقيق رئيسية للإنتاج الضخم للطلاء ، لا سيما لترسب الغشاء لطلاء الأغشية العازلة وغير الموصلة على الأسطح مثل الطلاءات الضوئية ، الألواح الشمسية ، طبقات متعددة ، فيلم المواد المركبة إلخ.
إنه يحل محل RF الاخرق نظرًا لأنه يعمل مع kHz بدلاً من MHz للحصول على معدل ترسيب أسرع بكثير ويمكنه أيضًا تجنب التسمم المستهدف أثناء ترسب الأغشية الرقيقة المركبة مثل DC.
كانت أهداف الرش MF موجودة دائمًا بمجموعتين.يتم استخدام اثنين من الكاثودات مع تيار تيار متردد يتم تبديله ذهابًا وإيابًا بينهما مما ينظف السطح المستهدف مع كل انعكاس لتقليل تراكم الشحنة على العوازل التي تؤدي إلى الانحناء الذي يمكن أن ينفث قطرات في البلازما ويمنع نمو الأغشية الرقيقة المنتظمة --- وهو ما نسميه التسمم المستهدف.
مصادر الترسيب
مصادر قوس دائرية مقذوفة لتبخر الهدف المعدني الصلب ؛
2/4/6 أزواج من كاثودات رش الأسطوانة MF لترسب طبقة رقيقة من الجرافيت ؛
مصدر طاقة متحيز لقذف الأيونات لتشكيل منطقة البلازما للمعالجة المسبقة ؛
وحدة مصدر أيون خطي للأنود (اختياري) معالجة PACVD و PECVD ؛
Cryopump (Polycold) للتكثيف الجزيئي للماء (اختياري)
وحدات أخرى
1. غرفة فراغ
2. نظام الضخ بالفراغ Rouhging (حزمة مضخة دعم)
3.نظام ضخ الفراغ العالي (مضخة جزيئية بتعليق مغناطيسي)
4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي
5. نظام التسهيلات الخارجية (النظام الفرعي)
6. نظام الترسيب: كاثود رشاش MF ، مصدر طاقة MF ، مصدر أيوني لإمداد الطاقة المتحيز لاختياري
أداء آلة الطلاء
1. ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10-6تور.
2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10-4تور.
3. وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10-4Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، حجرة جافة ونظيفة وفارغة)
4. المواد المعدنية (الرش + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr ، TiN ، TiC ، TiAlN ، CrN ، CrC ، إلخ.
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي
| وصف | RT1000-DLC |
RT1000-IPG |
RT1250-أسود |
RT1612-أسود |
| المزايا الفنية |
المكونات في نظام متكامل للتثبيت السريع |
حجم أعلى |
||
| التطبيقات الرئيسية |
طلاء أسود DLC على المواد الغذائية الطبية والمجوهرات وأجزاء الساعات. |
قطع العمل المتوسطة والكبيرة: أدوات المائدة SS ، مقابض الأبواب ، تجهيزات الحمامات ، مكونات السيارات ، الرياضة ، الأجهزة المنزلية ، أدوات المطبخ والإطارات الطيفية ، إلخ. | ||
| غرفة الترسيب |
φ 1000 * H1000mm |
φ1250 * H1250mm |
φ1600 * H1250mm |
|
|
قطر الحمل |
6 * φ250 مم |
8 * φ270 مم 10 * φ230 مم |
10 * φ300mm 16 * φ200mm |
|
| ارتفاع الحمولة ( فعال) |
650 ملم | 900 ملم | 900 ملم | |
| ترسيب الكاثودات | 5 قوس + 4 أزواج من اسطوانة MF |
الخيار (أ): 8 قوس + 1 مجموعة DC مستوٍ ؛ |
7 قوس + 3 (أو 4) أزواج من رشاش اسطوانة MF | 12 قوس + 4 (أو 6) أزواج من رشاش اسطوانة MF |
| نظام التشغيل والتحكم |
سيمنز بي ال سي + كمبيوتر صناعي + رويال تك.برنامج التشغيل |
|||
هذه التكوينات قياسية ، لسوق تطوير معين وطلاءات خاصة جديدة ، التكوينات والتعديلات المخصصة متوفرة عند الطلبات.
تشغيل برنامج تركيب نظام الفراغ
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتزويدك بحلول الطلاء الكاملة.
