نظام ترسيب الاخرق المغنطروني المغلق غير المتوازن ، طلاء الأيونات بالرش المغنطروني غير المتوازن
تتميز عمليات المغنطرون غير المتوازنة والمغلقة بجميع مزايا المغنطرونات المستوية.المزايا والعيوب الإضافية هي:
أحدثت خصائص رش المغنطرون غير المتوازنة والمغلقة ثورة في الخصائص التي يمكن تحقيقها من خلال عمليات الاخرق المغنطروني.وبنفس النجاح مع تحسين الغلاف الرقيق الترايبولوجي ومقاومة التآكل والخصائص البصرية كما كانت هذه التكنولوجيا ، فقد بدأت للتو التحسينات في تقنية المغنطرون.المدونة التالية ننتقل إلى عمليات المغنطرون الدوارة والأسطوانية وتطبيقات الأغشية الرقيقة الناتجة.
- فوق الفني منبيت آر مارتن
طورت التكنولوجيا الملكية كاثودات عالية الإنتاجية وعالية الاستخدام للرشاشات ، خاصة بالنسبة للمعادن النادرة والمكلفة: Au Gold ، Ta Tantalum ، ترسيب أفلام الفضة المعدنية.يخدم نظام ترسيب الفيلم عالي التوحيد العديد من الصناعات مثل أجزاء الإلكترونيات ومكونات الأدوات الطبية التي تتطلب توحيدًا عاليًا للفيلم وترسيب طبقات متعددة.
آلة RTSP1000 هي آلة قياسية تم تطويرها بواسطة Royal Technology.مطبق على نطاق واسع مع أدوات القطع / التشكيل ، والقوالب ، والأدوات الطبية ، ومكونات الإلكترونيات ، وصناعات السيارات.
| التكوينات الرئيسية والمعلمات الفنية لـ RTSP1000 | ||||||||
| نموذج | RTSP1000 | |||||||
| تكنولوجيا | رش المغنطرون MF + تنظيف البلازما بمصدر أيوني | |||||||
| مواد الغرفة | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) | |||||||
| حجم الغرفة | Φ 1000 * 800 مم (ح) | |||||||
| نوع الغرفة | شكل د | |||||||
| حامل دوران ونظام تهزهز | 6 أقمار صناعية كحد أقصى.الوزن: 500 كلغ | |||||||
| مزودات الطاقة |
الكمية.من الاخرق: 2 * 24 KW انحياز مصدر الطاقة: مصدر طاقة 1 * 20W 1 * 5KW |
|||||||
| مواد الإيداع | Ti / Cr / TiAl / Ta / Cu / Au / الكربون إلخ. | |||||||
| مصدر الإيداع | 2 أزواج (4 قطع) كاثودات ترشاش مستوية + 1 مصدر أيون خطي منطقة التوحيد: ± 10 ~ 15٪ |
|||||||
| مراقبة | PLC (وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة) + شاشة تعمل باللمس (يدوي + نماذج تشغيل تلقائية + شبه آلية) | |||||||
| نظام المضخة | مضخة دوارة دوارة: SV300B - مجموعة واحدة (ليبولد) | |||||||
| مضخة الجذور: WAU1001-1 مجموعة (ليبولد) | ||||||||
| مضخة إمساك: D60C - مجموعة واحدة (ليبولد) | ||||||||
| مضخة جزيئية تعليق مغناطيسي - مجموعة واحدة (Leybold) | ||||||||
| جهاز التحكم في تدفق الغاز | 4 قنوات ، صنع في الصين ، سبع نجوم (سلسلة CS ،) موديل رقمي | |||||||
| مقياس الفراغ | الموديل: ZDF-X-LE ، صنع في الصين: ZDF-X-LE | |||||||
| مصدر أيوني خطي | قطعة واحدة معالجة مسبقة ، تنظيف بالبلازما + الترسيب المساعد | |||||||
| نظام سلامة | العديد من أقفال الأمان لحماية المشغلين والمعدات | |||||||
| التسخين | سخانات: 30 كيلو وات.الأعلى.درجة الحرارة: 450 درجة مئوية | |||||||
| تبريد | مبرد صناعي (ماء بارد) | |||||||
| أقصى القوة. | 100KW (تقريبًا) | |||||||
| متوسط استهلاك الطاقة | 45 كيلو واط (تقريبًا) | |||||||
| الوزن الإجمالي | T (تقريبًا) | |||||||
| اثار | (الطول * العرض * الارتفاع) 4000 * 4000 * 3200 ملم | |||||||
| كهرباء | تيار متردد 380 فولت / 3 مراحل / 50 هرتز / 5 خطوط | |||||||
عالية الهدف الاستفادة من ترسب مستو الاخرق: من فضلك انقر هنا لمشاهدة الفيديو
تنظيف البلازما الخطي المصدر الأيوني والترسيب المساعد: من فضلك انقر هنا لمشاهدة الفيديو
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتزويدك بحلول الطلاء الكاملة.
