PVD + PECVD آلة ترسيب الفراغ ، معدات PVD هيكل متعدد السطوح ، مصادر ترسب متعددة
خصائص الجهاز Multi950:
البصمة المدمجة ،
تصميم وحدات قياسية ،
مرنة،
موثوق،
غرفة أوكتال ،
هيكل 2 باب للوصول الجيد ،
عمليات PVD + PECVD.
ميزات التصميم:
1-المرونة: قوس والكاثود الاخرق ، هي موحد الشفاه مصدر أيون التبادل لتبادل مرنة ؛
2. براعة: يمكن إيداع مجموعة متنوعة من المعادن الأساسية والسبائك. الطلاءات البصرية ، والطلاء الصلب ، والطلاء الناعم ، والأفلام المركبة وأفلام التشحيم الصلبة على ركائز المواد المعدنية وغير المعدنية.
3. تصميم مستقيم للأمام: هيكل ببابين ، فتح أمامي وخلفي لسهولة الصيانة.
آلة Multi950 عبارة عن نظام متعدد الوظائف للترسيب الفراغي مخصص للبحث والتطوير. من خلال مناقشة استمرت نصف عام مع فريق جامعة شنغهاي بقيادة البروفيسور تشن ، أكدنا أخيرًا على التصميم والتكوينات لتلبية طلبات البحث والتطوير الخاصة بهم. هذا النظام قادر على إيداع فيلم DLC الشفاف مع عملية PECVD ، والطلاء الصلب على الأدوات ، والفيلم البصري مع كاثود الاخرق. بناءً على مفهوم تصميم الماكينة التجريبية ، قمنا بتطوير 3 أنظمة طلاء أخرى بعد ذلك:
1. طلاء لوحة القطبين للمركبات الكهربائية خلية الوقود- FCEV1213 ،
2. السيراميك مطلي مباشرة النحاس- DPC1215 ،
3. نظام الاخرق المرن- RTSP1215.
هذه الماكينة الأربعة موديلات مزودة بغرفة أوكتال ، وتستخدم على نطاق واسع عروض مرنة وموثوقة في مختلف التطبيقات. إنها تلبي عمليات الطلاء التي تتطلب طبقات معدنية متعددة: Al ، Cr ، Cu ، Au ، Ag ، Ni ، Sn ، SS والعديد من المعادن المغناطيسية الأخرى.
بالإضافة إلى وحدة مصدر Ion ، تعمل على تعزيز التصاق الأفلام بكفاءة على مواد الركيزة المختلفة من خلال أداء الحفر بالبلازما وعملية PECVD لإيداع بعض الطبقات القائمة على الكربون.
يعد Multi950 علامة فارقة في أنظمة الطلاء المتقدمة في Royal Tech. هنا ، نحن نشكر طلاب جامعة شنغهاي وخاصةً عملية Yigang Chen ، على تفانيه الخلاق والنكران للذات ، وهي قيم غير محدودة وألهم فريقنا.
في عام 2018 ، كان لدينا تعاون مشروع آخر مع Pressor Chen ، ترسب المواد C-60 بواسطة
طريقة التبخير الحراري الاستقرائي. نشكر بحرارة السيد Yimou Yang والأستاذ تشن الرائد والتعليمات في كل مشروع مبتكر.
Multi950 - المواصفات الفنية
| وصف | متعددة 950 |
غرفة ترسب (مم) العرض × العمق × الارتفاع | 1050 × 950 × 1350 |
مصادر الترسب | 1 زوج من الكاثود MF الاخرق |
| 1 زوج من PECVD | |
| 8 مجموعات قوس الكاثود | |
| الخطي ايون المصدر | 1 مجموعة |
| منطقة توحيد البلازما (مم) | 50650 × H750 |
| دائري | 6 × 300 |
القوى (KW) | التحيز: 1 × 36 |
| MF: 1 × 36 | |
| PECVD: 1 × 36 | |
| القوس: 8 × 5 | |
| ايون المصدر: 1 × 5 | |
| نظام التحكم في الغاز | MFC: 4 + 1 |
| نظام التدفئة | 500 ℃ ، مع التحكم PID الحرارية |
| ارتفاع بوابة فراغ صمام | 2 |
| المضخة التوربينية الجزيئية | 2 × 2000L / S |
| مضخة الجذور | 1 × 300 لتر / ث |
| دوارات دوارة مضخة | 1 × 90 متر مكعب / ساعة + 1 × 48 متر مكعب / ساعة |
| البصمة (الطول × العرض × الارتفاع) ملم | 3000 * 4000 * 3200 |
| إجمالي الطاقة (كيلوواط) | 150 |
توفر فرق الخدمات والهندسة في Royal Tech دعم العملاء في الموقع ، اتصل بنا للحصول على طلباتك
