ما هي تقنية الاخرق المغنطروني؟
الرش المغنطروني هو شكل آخر من أشكال تكنولوجيا الطلاء PVD.
طلاء البلازما
الرش المغنطروني هو عملية طلاء البلازما حيث يتم طرد مادة الرش بسبب قذف الأيونات إلى السطح المستهدف. تمتلئ حجرة التفريغ لآلة الطلاء PVD بغاز خامل ، مثل الأرجون. من خلال تطبيق الجهد العالي ، يتم إنشاء تفريغ وهج ، مما يؤدي إلى تسريع الأيونات إلى السطح المستهدف وطلاء البلازما. ستقوم أيونات الأرجون بإخراج المواد الأخرق من السطح المستهدف (الاخرق) ، مما ينتج عنه طبقة طلاء رطبة على المنتجات أمام الهدف.
الاخرق رد الفعل
في كثير من الأحيان يتم استخدام غاز إضافي مثل النيتروجين أو الأسيتيلين ، والذي سوف يتفاعل مع المادة المقذوفة (الرش التصحيحي). مجموعة واسعة من الطلائخ يمكن تحقيقها باستخدام تقنية طلاء PVD. تكنولوجيا الرش المغنطروني مفيدة جداً للطلاء التالف (على سبيل المثال Ti، Cr، Zr و Carbon Nitrides) ، بسبب طبيعتها الناعمة. نفس الميزة تجعل الرش المغنطروني يستخدم على نطاق واسع للطلاء tribological في أسواق السيارات (على سبيل المثال CrN ، Cr 2 N ومجموعات مختلفة مع طلاء DLC - Diamond Like Carbon coating).
المجالات المغناطيسية
تختلف طريقة الرش المغنطروني اختلافًا ما عن تقنية التصفيح العامة. الاختلاف هو أن تقنية الرش المغنطروني تستخدم حقولًا مغنطيسية للحفاظ على البلازما أمام الهدف ، وتكثيف قصف الأيونات. البلازما كثيفة للغاية هي نتيجة لتكنولوجيا الطلاء PVD هذه.
أقصى قوة الاخرق | |
هدف تبريد غير مباشر | > 20 وات / سم 2 (DC) |
> 7 وات / سم 2 (RF) | |
جهد التفريغ / | 100 إلى 1500 فولت |
التفريغ الحالي | > 0.05 أمبير / سم 2 |
ضغط التشغيل | 0.05 إلى 5 باسكال |
استخدام الهدف | > 35 ٪ |
استهداف | |
شكل | مستطيلة / مستو |
سماكة | 6MM ~ 16mm و |
عرض | قذائف 125mm |
التركيب | داخلي خارجي |
تتميز تقنية الرش المغنطروني بما يلي: