يستخدم الاخرق المغنطروني على نطاق واسع لإيداع المعادن المقاومة للصهر مثل التنتالوم والتيتانيوم والتنغستنوالنيوبيوم ، الأمر الذي يتطلب درجات حرارة عالية جدًا للترسيبوالمعادن الثمينة: الذهب والفضة والتي تستخدم أيضًا في ترسيب معادن ذات نقاط انصهار منخفضة مثل النحاس والألمنيوم والنيكل والكروم وما إلى ذلك.
يستخدم التنتالوم في الغالب في الأجهزة الإلكترونيةصناعةكطبقة واقية لما لها من مقاومة جيدة للتآكل.
تطبيقات فيلم التنتالوم الرقيق المرشوشة:
1. صناعة الإلكترونيات الدقيقة حيث يمكن رش الأفلام بشكل تفاعلي وبالتالي يمكن التحكم في المقاومة ومعامل درجة الحرارة للمقاومة ؛
المزايا الفنية
نظام ترسيب رش التنتالوم القياسي من Royal Technology: RTSP1000
التكوينات الرئيسية | |
نموذج | RTSP1000 |
تكنولوجيا |
نابض DC المغنطرون الاخرق طلاء القوس الكاثودي (للخيار ، تحدده عملية الطلاء) |
مواد الغرفة | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) |
حجم الغرفة | Φ 1000 * 1600 مم (ح) |
نوع الغرفة | شكل د ، حجرة أسطوانية |
حامل دوران ونظام تهزهز | القيادة عبر الأقمار الصناعية أو نظام القيادة المركزي |
مزودات الطاقة |
DC الاخرق امدادات الطاقة: 2 ~ 4 مجموعات مصدر أيون: 1 مجموعة |
مواد الإيداع | Ta ، Ti / Cr / TiAl ، Au ، Ag ، Cu إلخ. |
مصدر الإيداع | كاثودات رش مستوية + كاثودات قوس دائرية |
مراقبة | PLC (وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة) + IPC (نماذج التشغيل اليدوي + التلقائي + شبه التلقائي) |
نظام المضخة | مضخة دوارة دوارة: SV300B - مجموعة واحدة (ليبولد) |
مضخة الجذور: WAU1001-1 مجموعة (ليبولد) | |
مضخة إمساك: D60C - 1 مجموعة (ليبولد) | |
مضخة التعليق الجزيئي المغناطيسي: MAG2200 - 2 سيست (ليبولد) |
|
جهاز التحكم في تدفق الغاز | قناتان: Ar و N2 |
مقياس الفراغ | Inficon أو Leybold |
نظام سلامة | العديد من أقفال الأمان لحماية المشغلين والمعدات |
التسخين | سخانات: 20 كيلو وات.الأعلى.درجة الحرارة: 450 درجة مئوية |
تبريد | مبرد صناعي (ماء بارد) |
أقصى القوة. | 100KW (تقريبًا) |
متوسط استهلاك الطاقة | 45 كيلو واط (تقريبًا) |
الوزن الإجمالي | T (تقريبًا) |
اثار | (الطول * العرض * الارتفاع) 4000 * 4000 * 3600 ملم |
الطاقة الكهربائية |
تيار متردد 380 فولت / 3 مراحل / 50 هرتز / 5 خط |
في الموقع:
وقت الإنشاء: 2018
المكان: الصين
يرجى الاتصال بنا لمزيد من التطبيقات والمواصفات.