السحابات والتركيبات PVD آلة طلاء الأغشية الرقيقة / التشطيبات النحاسية ذات الغشاء الرقيق PVD
كيف يعمل طلاء PVD؟
يتبخر المعدن الصلب أو يتأين في بيئة ذات فراغ عالي ويوضع على مواد موصلة كهربائيًا كأفلام من المعدن النقي أو السبائك المعدنية. عندما يتم إدخال غاز تفاعلي ، مثل النيتروجين أو الأكسجين أو غاز قائم على الهيدروكربون ، في البخار المعدني ، فإنه ينتج طلاء نيتريد أو أكسيد أو كربيد كتيار بخار معدني ، ويتفاعل كيميائيًا مع الغازات. يجب أن يتم طلاء PVD في غرفة تفاعل متخصصة حتى لا تتفاعل المادة المبخرة مع أي ملوثات قد تكون موجودة في الغرفة.
أثناء عملية طلاء PVD ، يتم مراقبة معلمات العملية والتحكم فيها عن كثب بحيث يمكن تكرار صلابة الفيلم الناتجة ، التصاق ، المقاومة الكيميائية ، بنية الفيلم ، وغيرها من الخصائص لكل تشغيل. يتم استخدام طلاء PVD مختلف لزيادة مقاومة التآكل ، وتقليل الاحتكاك ، وتحسين المظهر ، وتحقيق تحسينات أخرى في الأداء.
من أجل إيداع مواد عالية النقاء مثل التيتانيوم أو الكروم أو الزركونيوم أو الفضة أو الذهب أو الألمنيوم أو النحاس أو الفولاذ المقاوم للصدأ ، فإن العملية الفيزيائية لطلاء PVD تستخدم إحدى طرق طلاء PVD المختلفة المختلفة ، بما في ذلك:
قوس التبخر
التبخر الحراري
DC / MF الاخرق (قصف الأيونات)
ايون شعاع ترسب
ايون الطلاء
تعزيز الاخرق
تنتمي كل طريقة من هذه الطرق إلى الفئة الشاملة "ترسيب البخار الفعلي".
خصائص الأغشية الرقيقة PVD
يتم تطبيق Precision Fasteners PVD Thin Film Plating Machine مع السحابات والتجهيزات مثل البراغي والمسامير والكسارات والتجهيزات والأغطية المستخدمة في مستحضرات التجميل والمنتجات الإلكترونية والآلات الميكانيكية وصناعات السيارات تستخدم على نطاق واسع تكنولوجيا PVD للحصول على مجموعة متنوعة من ألوان Panton ، مجموعة من الذهب والأسود والأزرق والرمادي والفضي ، قوس قزح ، البرونزية ، champage الخ
مشابك الدقة مصادر ترسيب آلة طلاء الأغشية الرقيقة PVD
مصادر قوس دائري موجهة لتتبخر هدف المعدن الصلب ؛
زوجان من الكاثودات غير المتوازنة MF غير المتوازنة لترسب طبقة رقيقة من الجرافيت ؛
Bias Power Supply لقصف أيون لتشكيل منطقة البلازما للمعالجة المسبقة ؛
وحدة مصدر أيون أنود الخطي (لاختياري) معالجة PACVD و PECVD ؛
Cryopump (Polycold) للتكثيف الجزيئي للماء (اختياري)
الدقة السحابات PVD هياكل رقيقة فيلم الطلاء آلة
1. فراغ الغرفة
2. روجينج نظام ضخ فراغ (حزمة مضخة الدعم)
3. نظام ضخ الفراغ العالي (المضخة الجزيئية تعليق مغناطيسي)
4. التحكم الكهربائي ونظام التشغيل
5. نظام مرفق المساعدة (النظام الفرعي)
6. نظام الترسيب: الكاثود MF الاخرق ، وإمدادات الطاقة MF ، مصدر الطاقة أيون التحيز لاختياري
مشابك الدقة PVD أداء الطلاء رقيقة ماشين
1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 5.0 × 10 - 6 Tor.
2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10 - 4 تور.
3. ضخ الوقت: من 1 atm إلى 1.0 × 10 - 4 Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4. المواد المعدنية (الاخرق + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr ، TiN ، TiC ، TiAlN ، CrN ، CrC ، إلخ.
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا
الدقة مشابك PVD طلاء الأغشية الرقيقة مواصفات ماشين
| نموذج | RTAC1250-SPMF | ||||||
| تقنية | MF Magnetron Sputtering + Ion Plating | ||||||
| مواد | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) | ||||||
| حجم الغرفة | 501250 * H1250mm | ||||||
| نوع الغرفة | اسطوانة ، عمودي ، 1 باب | ||||||
| نظام الاخرق | تصميم حصري لترسب فيلم أسود رقيق | ||||||
| مواد الايداع | الألومنيوم ، الفضة ، النحاس ، الكروم ، الفولاذ المقاوم للصدأ ، النيكل | ||||||
| مصدر الإيداع | مجموعتان من الأهداف MF Cylindrical Sputtering + 8 من مصادر القوس الكاثودي الموجه + مصدر أيون لاختياري | ||||||
| غاز | MFC- 4 طرق ، Ar ، N2 ، O2 ، C2H2 | ||||||
| مراقبة | PLC (التحكم المنطقي القابل للبرمجة) + | ||||||
| نظام المضخة | SV300B - مجموعة واحدة (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - مجموعة واحدة (Leybold) | |||||||
| مجموعة D60T - 1 (Leybold) | |||||||
| مضخات توربو الجزيئية: 2 * F-400/3500 | |||||||
| ما قبل المعالجة | إمدادات الطاقة التحيز: 1 * 36 كيلو واط | ||||||
| نظام السلامة | العديد من السلامة المتشابكة لحماية المشغلين | ||||||
| تبريد | ماء بارد | ||||||
| الطاقة الكهربائية | 480 فولت / 3 مراحل / 60 هرتز (متوافق مع الولايات المتحدة الأمريكية) | ||||||
| 460 فولت / 3 مراحل / 50 هرتز (متوافقة مع آسيا) | |||||||
| 380V / 3 مراحل / 50HZ (متوافق مع الاتحاد الأوروبي - CE) | |||||||
| اثار | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| الوزن الكلي | 7.0 ت | ||||||
| اثار | (L * W * H) 5000 * 4000 * 4000 ملم | ||||||
| دورة الزمن | 30 ~ 40 دقيقة (اعتمادا على المواد الركيزة ، الركيزة الهندسة والظروف البيئية) | ||||||
| أقصى القوة.. | 155 كيلو واط | ||||||
| متوسط الطاقة الاستهلاك (APPROX) | 75 كيلو واط |
تتوفر أحجام الماكينة المخصصة أيضًا بناءً على المنتجات المطلوبة المحددة.
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.
