أجزاء الألومنيوم أكسيد النحاس PVD تصفيح آلة PVD النحاس تصفيح oncnc أجزاء طحن الألومنيوم
كلمات البحث: منتجات الألمنيوم المطلي المباشر ، عملية PECVD ، فيلم DLC ، فيلم كربون الماس ، فيلم بصري متقطع ، كاثود Gutoa Magnetron Sputtering ، مصدر أيون ، PA PVD
ميزات تصميم RTAC950-SP:
المواصفات الفنية
1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 8.0 * 10 - 4 Pa ؛
3. ضخ الوقت إلى أسفل: من atm إلى 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4. مصدر ترسب: gencoa المغنطرون الكاثود الاخرق ، كاثودات القوس موجه ، مصدر أيون
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا
6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة تصل إلى أقصى الحدود. 500 ℃،
9. مصدر أيون لعملية PECVD و PA PVD.
آلة طلاء الفراغ تحتوي على نظام مكتمل مفتاح مدرج أدناه:
1. فراغ الغرفة
1.1 الحجم: عمق الداخلية 950MM
الارتفاع الداخلي: 1350 مم
1.2 المواد: فراغ الغرفة SUS304
الباب والشفاه SUS304
غرفة تعزيز الهيكل: SS41 الصلب الطري ، مع الانتهاء من معالجة طلاء السطح.
هيكل غرفة SS41 الفولاذ الطري مع الانتهاء من معالجة سطح الطلاء.
1.3 درع الغرفة: SUS304
1.4 نافذة الرؤية: على أبواب الغرفة -2
1.5 صمام فراغ غرفة التهوية (بما في ذلك كاتم الصوت)
1.6 الباب: 2 مجموعات ، الأمامي والخلفي ، مادة SUS304
2. نظام ضخ فراغ التخشين:
مضخة فراغ دوارة دوارة النفط + عقد مضخة
3. ارتفاع نظام ضخ فراغ:
مضخة توربو الجزيئية - 2 مجموعات
4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي - نظام التشغيل PLC + Touch ScreenOperation:
الموردين:
PLC: ميتسوبيشي ، النموذج: سلسلة FX-IN60MR-001
المكونات الإلكترونية: شنايدر ، OMRON.
نظام حماية السلامة: العديد من أنظمة السلامة المتداخلة لحماية المشغلين والمعدات (المياه ، الغاز الحالي ، درجة الحرارة ، إلخ.)
نظام عمليات الطلاء : أتمتة العمليات والتحكم. حفظها تلقائيا في الذاكرة لمدة 3 أشهر. بيانات وصفات الطلاء المميزة: تيار / جهد التشغيل المستهدف ، التدفق الشامل ، ضغط الفراغ ، درجة الحرارة ، يتم حفظ أوقات الطلاء لتحليل لتحسين جودة الطلاء.
4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح قاطع بدون فتيل ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة
4.2 مزود الطاقة: MF sputtering power + DC Arc power + Bias Power Supply
4.3 نظام مراقبة الترسيب
4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC والتحكم في الوصفة وتسجيل البيانات والإغلاق التلقائي والإخلاء التلقائي والطلاء التلقائي
4.5 نظام القياس
ضغط الفراغ: مقياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + مقياس الفراغ الكامل المدى - ماركة أوروبا
جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية
MFC: وحدة التحكم في التدفق الشامل (4 طرق) ،
4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل
4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي
5 . نظام الترسيب
5.1 مصدر الترسب: الكاثود الاخرق + مصادر القوس + ايون المصدر
5.2 ترسب المواد: ITO ، التيتانيوم ، الكروم ، الألومنيوم ، الفولاذ المقاوم للصدأ ، TiAl الخ
6. النظام الفرعي
6.1 نظام التحكم بالصمام المضغوط بالهواء
6.2 نظام مياه التبريد: أنبوب تدفق المياه ونظام تبديل الصمام
7. بيئة العمل
الهواء المضغوط: 5 ~ 8kg / cm2
مياه التبريد: درجة حرارة الماء: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لتر / دقيقة ،
ضغط الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،
الطاقة: 3 المرحلة 380V 50HZ (60HZ) ، 130kVA ، متوسط استهلاك الطاقة: 60KW
منطقة التثبيت: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية
يرجى الاتصال بنا للحصول على المزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.