هذه الآلة مناسبة لنظام طلاء الفراغ للإنتاج الصناعي . إنه يجهز مصدر تبخر القوس الكبير بالحجم الكبير ويمكن أن يودع طبقة معدنية صلبة عالية الأداء من خلال تقنية التبخر القوسي ، مثل TiN و TiCN و AlTiN وجميع أنواع الأفلام الخاصة الأخرى وفقًا لمتطلبات العميل.
يمكن استخدام هذا الجهاز في أدوات تعبئة البلاستيك المستخدمة في طب الأسنان أدوات طلاء مركب من التيتانيوم
مواصفات آلة طلاء الأغشية الرقيقة
| نموذج | RTSP1010 | |||||||
| تقنية | PECVD عملية - المغنطرون الاخرق + مصدر أيون | |||||||
| غرفة المواد | الفولاذ المقاوم للصدأ (S304) | |||||||
| حجم الغرفة | 1000 * 1000 مم (H) | |||||||
| نوع الغرفة | غرفة المثمن العادية ، 2 أبواب | |||||||
| نظام التناوب والرقص | 6 (8) قمر صناعي ، ماكس. الوزن: 400 كلغ | |||||||
| مزودات الطاقة | الكمية. من الاخرق: 2 * 24 KW انحياز لامدادات الطاقة: 1 * 24W AE لامدادات الطاقة للخيار Ion Source التيار الكهربائي 2 مجموعات ، AE لامدادات الطاقة للخيار | |||||||
| مواد الايداع | كر / C | |||||||
| مصدر الإيداع | 2 أزواج (4 قطع) كاثود متقشر + منطقة طلاء مصدر أيون: Dia800mm * H550mm؛ منطقة التوحيد: ~ 10 ~ 15 ٪ | |||||||
| مراقبة | PLC (جهاز التحكم المنطقي القابل للبرمجة) + شاشة تعمل باللمس (دليل + نماذج تشغيل السيارات + شبه التلقائي) | |||||||
| نظام المضخة | مضخة دوارة دوارة: SV300B - مجموعة واحدة (Leybold) | |||||||
| مضخة الجذور: WAU1001 - مجموعة واحدة (Leybold) | ||||||||
| عقد مضخة: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| المضخة الجزيئية للتعليق الدوار للمغناطيس: MAG2200 - مجموعتان (Leybold) | ||||||||
| مراقبة تدفق الغاز | 3 قنوات ، صنع في أمريكا (ماركة MKS) | |||||||
| فراغ قياس | نموذج: ZDF-X-LE ، صنع في الصين | |||||||
| الخطي ايون المصدر | 2 قطعة قبل المعالجة ، وتنظيف البلازما + ترسب بمساعدة | |||||||
| نظام السلامة | العديد من السلامة المتشابكة لحماية المشغلين والمعدات | |||||||
| التدفئة | سخانات: 20KW. ماكس. درجة الحرارة: 400 ℃ | |||||||
| تبريد | مبرد صناعي (ماء بارد) | |||||||
| أقصى القوة. | 100KW (تقريبا) | |||||||
| متوسط استهلاك الطاقة | 45 كيلو واط (تقريبًا) | |||||||
| الوزن الإجمالي | تي (تقريبا) | |||||||
| اثار | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 ملم | |||||||
| الطاقة الكهربائية | AC 380V / 3 مراحل / 50HZ | |||||||
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.
