Au Gold Sputtering Deposition Equipment ، آلة ترسيب PVD Silve / Gold ، نظام الاخرق PVD فيلم موصل
ملخص: إن DPC process- Direct Plating Copper هي تقنية طلاء متقدمة مطبقة في الصناعات LED / أشباه الموصلات / الصناعات الإلكترونية. تطبيق واحد نموذجي هو الركيزة يشع السيراميك. ترسب الفيلم موصل كوبر على أكسيد الألومنيوم (Al2O3) ، AlN ركائز بواسطة تكنولوجيا التفريغ PVD فراغ ، مقارنة مع التصنيع التقليدية
الأساليب: DBC LTCC HTCC ، تكلفة الإنتاج الأقل بكثير هي ميزتها العالية.
ساعد فريق التكنولوجيا الملكي عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح باستخدام تقنية PVD الاخرق.
الكلمات المفتاحية: أجزاء إحكام السيراميك ، عملية DPC ، نظام التفريغ PVD للنحاس ، رقائق السيراميك LED مع طلاء Cooper ، Al 2 O 3 ، لوحات الدوائر الخزفية من AlN ، لوحات Al2O3 على LED ، أشباه الموصلات
تطبيقات DPC:
HBLED
ركائز للخلايا الشمسية المركزة
التعبئة والتغليف أشباه الموصلات السلطة بما في ذلك التحكم في المحركات السيارات
· الهجينة والكهربائية إدارة الطاقة السيارات الإلكترونية
حزم ل RF
أجهزة الميكروويف
أداء تكنولوجيا DPC
مواد الركيزة المختلفة: السيراميك (Al3O2 ، AlN) ، الزجاج ، وسي
الميزات:
المواصفات الفنية
1. Ultimate Vacuum Pressure: أفضل من 9.0 * 10 - 5 Pa ؛
3. ضخ الوقت إلى أسفل: من atm إلى 1.0 × 10 - 3 Pa≤15 دقيقة (درجة حرارة الغرفة ، غرفة جافة ونظيفة وفارغة)
4. مصدر ترسب: gencoa المغنطرون الكاثود الاخرق ، كاثودات القوس موجه ، مصدر أيون
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائيا / نصف تلقائي / يدويا
6. التدفئة: من درجة حرارة الغرفة تصل إلى أقصى الحدود. 500 ℃،
9. مصدر أيون لعملية PECVD و PA PVD.
آلة طلاء الفراغ تحتوي على نظام مكتمل مفتاح مدرج أدناه
1. فراغ الغرفة
1.1 الحجم: القطر الداخلي: 1200 ملم
الارتفاع الداخلي: 1500 مم
1.2 المواد: فراغ الغرفة SUS304
الباب والشفاه SUS304
غرفة تعزيز الهيكل: SS41 الفولاذ الطري ، مع الانتهاء من معالجة طلاء السطح.
هيكل غرفة SS41 الفولاذ الطري مع الانتهاء من معالجة سطح الطلاء.
1.3 درع الغرفة: SUS304
1.4 نافذة العرض: 2 على الباب
1.5 صمام فراغ غرفة التهوية (بما في ذلك كاتم الصوت)
1.6 الباب: المواد SUS304
2. رو ghing فراغ نظام الضخ :
مضخة فراغ دوارة دوارة النفط + عقد مضخة
3. نظام ضخ عالي الفراغ : مضخة جزيئية ذات تعليق مغناطيسي - مجموعتان
4. نظام التحكم الكهربائي والتشغيل- PLC + نظام تشغيل شاشة اللمس:
الموردين:
PLC: شاشة ميتسوبيشي + التي تعمل باللمس (صنع في الصين)
المكونات الإلكترونية: شنايدر ، OMRON.
نظام حماية السلامة: العديد من أنظمة السلامة المتداخلة لحماية المشغلين والمعدات (المياه ، الغاز الحالي ، درجة الحرارة ، إلخ.)
نظام عمليات الطلاء : أتمتة العمليات والتحكم.
4.1 الدارة الرئيسية: مفتاح قاطع بدون فتيل ، مفتاح كهرومغناطيسي ، C / T في نوع السلسلة
4.2 مزود الطاقة: DC / MF sputtering power + DC Arc power + Bias Power Supply
4.3 نظام مراقبة الترسيب
4.4 نظام التشغيل: شاشة تعمل باللمس + PLC والتحكم في الوصفة وتسجيل البيانات والإغلاق التلقائي والإخلاء التلقائي والطلاء التلقائي
4.5 نظام القياس
ضغط الفراغ: مقياس الفراغ: Pirani + Penning gauge + مقياس الفراغ الكامل المدى - ماركة أوروبا
جهاز قياس درجة الحرارة: الحرارية زوجين
MFC: وحدة التحكم في التدفق الشامل (4 طرق) ،
4.6 نظام الإنذار: ضغط الهواء المضغوط ، تدفق مياه التبريد ، سوء التشغيل
4.7 مؤشر حمل الطاقة: مؤشر الجهد ومؤشر الحمل الحالي
5 . نظام الترسيب
5.1 مصدر الترسب: الكاثود الاخرق + مصادر القوس + ايون المصدر
5.2 مواد الترسيب: النحاس ، الألومنيوم ، الكروم ، الفضة ، الذهب ، SS ، التيتانيوم ، إلخ.
6. النظام الفرعي
6.1 نظام التحكم بالصمام المضغوط بالهواء
6.2 نظام مياه التبريد: أنبوب تدفق المياه ونظام تبديل الصمام
7. بيئة العمل
الهواء المضغوط: 5 ~ 8kg / cm2
مياه التبريد: درجة حرارة الماء: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لتر / دقيقة ،
ضغط الماء: 2 ~ 3 كجم / سم 2 ،
الطاقة: 3 المرحلة 380V 50HZ (60HZ) ، 130kVA ، متوسط استهلاك الطاقة: 60KW
منطقة التثبيت: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
العادم: تنفيس للمضخات الميكانيكية
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتقديم حلول الطلاء الكاملة.
