نظام الاخرق النحاسي المشع بالسيراميك / معدات طلاء النحاس بالرشاش الخزفي
مصنع كوبر للطلاء بالرش المغنطرون على ركيزة مشعة من السيراميك
عملية DPC- الطلاء المباشر بالنحاس هي تقنية طلاء متقدمة مطبقة مع الصناعات الإلكترونية / أشباه الموصلات / LED.أحد التطبيقات النموذجية هو الركيزة المشعة للسيراميك.
ترسيب فيلم كوبر الموصّل على ركائز Al2O3 ، AlN ، Si ، الزجاج بواسطة تقنية ترشيح الفراغ PVD ، مقارنة بطرق التصنيع التقليدية: DBC LTCC HTCC ، الميزات:
1. تكلفة إنتاج أقل بكثير.
2. أداء متميز في الإدارة الحرارية ونقل الحرارة
3. محاذاة دقيقة وتصميم النمط ،
4. ارتفاع كثافة الدائرة
5. التصاق جيد وقابلية اللحام
ساعد فريق التكنولوجيا الملكي عملائنا على تطوير عملية DPC بنجاح باستخدام تقنية PVD الاخرق.
نظرًا لأدائها المتقدم ، تُستخدم ركائز DPC على نطاق واسع في العديد من التطبيقات:
LED عالي السطوع لزيادة العمر الافتراضي بسبب ارتفاعه الإشعاع الحراري الأداء ، معدات أشباه الموصلات ، الاتصالات اللاسلكية بالميكروويف ، الإلكترونيات العسكرية ، ركائز أجهزة الاستشعار المختلفة ، الفضاء ، النقل بالسكك الحديدية ، الطاقة الكهربائية ، إلخ
تم تصميم معدات RTAC1215-SP حصريًا لعملية DPC التي تحصل على الطبقة النحاسية على الركائز.تستخدم هذه المعدات مبدأ الترسيب الفيزيائي للبخار PVD ، مع تقنيات الطلاء الأيوني متعدد القوس وتقنيات رش المغنطرون للحصول على الفيلم المثالي بكثافة عالية ومقاومة عالية للتآكل وصلابة عالية وربط قوي في بيئة فراغ عالية.إنها الخطوة الحاسمة لعملية DPC للراحة.
ميزات آلة طلاء النحاس الاخرق
1. مُجهزة بـ 8 كاثودات قوس توجيه و كاثودات ترشيح بالتيار المستمر ، كاثودات رشاش MF ، وحدة مصدر أيون.
2. طلاء متعدد الطبقات والترسيب المشترك متاح
3. مصدر أيوني للمعالجة المسبقة لتنظيف البلازما والترسيب بمساعدة شعاع الأيونات لتعزيز التصاق الفيلم.
4. وحدة تسخين ركائز سيراميك / Al2O3 / AlN ؛
5. دوران الركيزة ونظام الدوران ، لطلاء جانب واحد وطلاء من جانبين.
مواصفات آلة طلاء الاخرق النحاسي
أداء
1. ضغط الفراغ النهائي: أفضل من 5.0 × 10-6 تور.
2. ضغط فراغ التشغيل: 1.0 × 10-4 تور.
3. وقت الضخ: من 1 atm إلى 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 دقائق (درجة حرارة الغرفة ، حجرة جافة ونظيفة وفارغة)
4. المواد المعدنية (الاخرق + تبخر القوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr إلخ.
5. نموذج التشغيل: كامل تلقائي / شبه تلقائي / يدوي
بنية
تحتوي آلة طلاء الفراغ على نظام مكتمل رئيسي مذكور أدناه:
1. غرفة فراغ
2. نظام الضخ بالفراغ Rouhging (حزمة مضخة دعم)
3.نظام ضخ الفراغ العالي (مضخة جزيئية بتعليق مغناطيسي)
4. نظام التحكم والتشغيل الكهربائي
5. نظام التسهيلات الخارجية (النظام الفرعي)
6. نظام الترسيب
Al2O3 ، ركائز AlN مع عينات طلاء النحاس
يرجى الاتصال بنا للحصول على مزيد من المواصفات ، تتشرف Royal Technology بتزويدك بحلول الطلاء الكاملة.
