أرسل رسالة

فراغ الاخرق ترسب

December 11, 2017

آخر أخبار الشركة فراغ الاخرق ترسب

ما هو فراغ الاخرق ترسب

1. ترسب الاخرق هو ترسب الجزيئات تبخيرها من سطح، وهو ما يسمى "الهدف الاخرق"، من خلال عملية الاخرق المادية.
2. الاخرق الفيزيائي هو عملية تبخير غير حرارة حيث يتم إخراج الذرات السطحية فعليا عن طريق نقل الزخم من الجسيمات القاتلة النشط، والذي عادة ما يكون أيون غازي يتسارع من البلازما.
3. ترسب ترسيب يمكن بريفورميد في فراغ أو الغاز المنخفض الضغط (<5 م تور) حيث الجسيمات الاخرق لا تعاني من اصطدام المرحلة الغاز في الفضاء بين الهدف والركيزة أو في ارتفاع ضغط الغاز (5-30 m تور) حيث تكون الجسيمات النشيطة المشوشة أو المنعكسة من هدف الإخرق هي "حرارية" عن طريق تصادم الطور الغازي قبل أن تصل إلى سطح الركيزة.

مزايا ترسب تفلذ

1. العناصر والسبائك والمركبات يمكن أن تخرب وترسب.

2. الهدف الاخرق يوفر مصدر تبخير مستقر وطويل العمر.

3. في بعض التكوينات الهدف الاخرق يوفر مصدر التبخير مساحة كبيرة يمكن أن يكون من أي شكل.

4. في بعض التشكيلات يمكن أن يكون مصدر الاخرق شكل محدد، مثل خط أو جزء من مخروط.

5. في بعض تكوينات يمكن أن يكون ترسب رد الفعل بسهولة أنجزت باستخدام الأنواع الغازية التفاعلية التي "تنشيط" في البلازما (أي "ترسب رد الفعل رد الفعل")

عيوب تفلذ ترسب

1. معدلات الاخرق منخفضة بالمقارنة مع تلك التي يمكن تحقيقها في التبخر الحراري.

2. خصائص الفيلم تعتمد على "زاوية من الوقوع" من تدفق مواد الإيداع وفي ضغوط منخفضة كمية القصف من المحايدين عالية الطاقة المنعكس من الهدف الاخرق.

3. في العديد من التكوينات توزيع تدفق ترسب غير موحدة، مما يتطلب فيكستورينغ لعشوائية موقف ركائز من أجل الحصول على أفلام سمك موحد وخصائص.

4 - وغالبا ما تكون أهداف الاخرق باهظة الثمن، وقد يكون استخدام المواد ضعيفا.

5. في بعض التكوينات لا يمكن إزالة التلوث الغازي بسهولة من النظام، والتلوثات الغازية "تنشيط" في البلازما، مما يجعل تلوث الفيلم أكثر من مشكلة من التبخر فراغ.

6. في بعض التكوينات الإشعاع والقصف من البلازما أو الهدف الاخرق يمكن أن تتحلل الركيزة.

7. ترسب ترسيب ويستخدم على نطاق واسع لإيداع رقيقة-- فيلم المعدن على مواد أشباه الموصلات، الطلاء على الزجاج المعماري، الطلاء العاكسة على أقراص مدمجة، الأفلام المغناطيسية، مواد التشحيم فيلم الجافة، والطلاء الزخرفية.

طرق الاخرق

دس الاخرق / مبسبوتيرينغ

التوازن الاخرق / الاخرق غير المتكافئة

نظام طلاء الاخرق

دفعة كواترز و في خط نظام الاخرق طلاء ل المنخفضة- E، ايتو فيلم الطلاء على الزجاج، بيت فيلم الخ

ابق على تواصل معنا
اتصل شخص : Ms. ZHOU XIN
الفاكس : 86-21-67740022
الأحرف المتبقية(20/3000)