منزل أخبار

ترسية القوس الكاثودي ومغسلة التفريغ متعدد الأركان

شهادة
نوعية جيدة المغنطرون الاخرق آلة طلاء للمبيعات
زبون مراجعة
أنا أقدر تعاون ممتاز ل بلدي أودم المشروع. من أول لمسة حتى المنتج النهائي، فقط 6 أشهر، نوعية مذهلة والخدمة!

—— السيد وو

بنيت رويال 3 مجموعات آلة لدينا مختبر. R & D التطبيقات. صبرهم، والاستجابة السريعة والمعرفة لافت للنظر، تعاون كبير دائما.

—— البروفيسور تشن

رويال قدم لنا أودم كسي طلاء آلة بنجاح. واصلنا شراء أربع مجموعات أخرى في غضون 2 سنوات، فريق ممتاز!

—— السيد لي

ابن دردش الآن
الشركة أخبار

ترسية القوس الكاثودي ومغسلة التفريغ متعدد الأركان

ترسية القوس الكاثودي ومغسلة التفريغ متعدد الأركان

ما هو القوس الكادميدي الودائع؟

الترسيب القوسي الكاثودي أو القوس- PVD هي تقنية ترسيب فيزيائية يتم فيها استخدام قوس كهربائي لتبخير المادة من هدف الكاثود . ثم تتكثف المادة المتبخرة على ركيزة ، لتشكيل طبقة رقيقة . يمكن استخدام هذه التقنية لإيداع الأغشية المعدنية والسيراميكية والأغشية المركبة .

عملية الإيقاع القوسي الكاثودي:

تبدأ عملية التبخر القوسي بضرب قوس تيار عالٍ منخفض الجهد على سطح الكاثود (المعروف بالهدف) الذي يؤدي إلى صغر حجمه (عادة ما يكون قليلًا على نطاق ميكرومترات ) ، ومنطقة انبعاث عالية النشاط تعرف باسم الكاثود بقعة. درجة الحرارة المحلية في مكان الكاثود عالية للغاية (حوالي 15000 درجة مئوية) ، مما يؤدي إلى سرعة عالية (10 كم / ثانية) من مادة الكاثود vapourised ، وترك فوهة بركانية وراء سطح الكاثود. منطقة الكاثود نشطة فقط لفترة قصيرة من الزمن ، ثم تنطفئ نفسها وتشتعل في منطقة جديدة قريبة من الحفرة السابقة. يتسبب هذا السلوك في الحركة الظاهرية للقوس.

بما أن القوس هو في الأساس موصل يحمل التيار ، فإنه يمكن أن يتأثر بتطبيق مجال كهرومغناطيسي ، والذي يستخدم في الواقع لتحريك القوس بسرعة على كامل سطح الهدف ، بحيث يتآكل السطح الكلي مع مرور الوقت.

يحتوي القوس على كثافة طاقة عالية للغاية مما يؤدي إلى مستوى عال من التأين (30-100٪) ، أيونات متعددة الشحنة ، جسيمات محايدة ، مجموعات وجسيمات كبيرة (قطرات). إذا تم إدخال غاز تفاعلي أثناء عملية التبخر ، يمكن أن يحدث التفكك والتأين والإثارة أثناء التفاعل مع تدفق الأيونات وسيترسب فيلم مركب.

جانب سلبي واحد لعملية تبخر القوس هو أنه إذا ظلت بقعة الكاثود في نقطة التبخر لفترة طويلة ، فإنها تستطيع إخراج كمية كبيرة من جزيئات أو قطرات كبيرة. هذه القطرات ضارة لأداء الطلاء لأنها ملتصقة بشكل ضعيف ويمكن أن تمتد عبر الطلاء. والأسوأ من ذلك هو أنه إذا كانت المادة المستهدفة للكاثود لديها نقطة انصهار منخفضة مثل الألومنيوم ، يمكن أن تتبخر بقعة الكاثود من خلال الهدف ، مما يؤدي إلى تبخر المادة اللوحية المساندة أو دخول مياه التبريد إلى الغرفة. لذلك ، يتم استخدام المجالات المغناطيسية كما ذكر سابقا للسيطرة على حركة القوس. إذا تم استخدام cathodes أسطواني يمكن أيضا أن تدور كاثودات خلال الترسب. من خلال عدم السماح لبقعة الكاثود بالبقاء في موضع واحد ، يمكن استخدام أهداف ألمنيوم طويلة جدًا ، كما يتم تقليل عدد القطرات. تستخدم بعض الشركات أيضًا أقواسًا مفلترة تستخدم حقولًا مغنطيسية لفصل القطيرات من تدفق الطلاء.

تطبيق ترسيب القوس الكاثودي:

يستخدم الترسيب القوسي الكاثودي بنشاط لتكوين فيلم شديد الصلابة لحماية سطح أدوات القطع وتوسيع نطاق حياتها بشكل كبير. يمكن تصنيع مجموعة متنوعة واسعة من الطلاء الرقيق ، والطبقات الفائقة الصلابة ، والطلاءات النانوية ، باستخدام هذه التكنولوجيا بما في ذلك TiN و TiAlN و CrN و ZrN و AlCrTiN و TiAlSiN .

كما يستخدم هذا على نطاق واسع على وجه الخصوص في ترسيب الأيونات الكربونية لصنع أفلام الكربون الشبيهة بالألماس . ولأن الأيونات تنطلق من سطح البالستية ، فإنه من الشائع ليس فقط الذرات المفردة ، بل يتم طرد مجموعات أكبر من الذرات. وبالتالي ، يتطلب هذا النوع من النظام مرشحًا لإزالة مجموعات الذرات من الحزمة قبل الترسب. يحتوي فيلم DLC المستخرج من القوس على نسبة عالية للغاية من الماس 3 sp الذي يعرف باسم الكربون غير المتبلمر رباعي السطوح أو ta-C .

يمكن استخدام القوس الكاثودي المصنف كمصدر أيون / بلازما أيون معدني لغرس أيون وغمر البلازما Ion Implantation and Deposition (PIII & D).

وتستخدم على نطاق واسع الكاثود قوس كاثودي مستديرة والكاثود قوس أسطواني لمختلف الطلاء الزخرفية PVD.

تصميم متعدد قوس المغطي فراغ:

[سبدف] نوع [كثوديك] قوس مصدر ، أيّ يكون ال [ويدلي وسدلي] يستعمل في الالغرب ، يتألف من قصيرة أسطوانيّة يشكّل كهربائيّة هدف موصّل في مهبط مع واحدة مفتوحة نهاية. هذا الهدف لديه حلقة معدنية عائمة كهربائيا محاطا بالعمل كحجاب حلقة قوس (Strel'nitskij الدرع). يمكن أن يكون القطب الموجب للنظام إما جدار غرفة مفرغة أو أنود منفصل. يتم إنشاء البقع القاطعة بواسطة المشغل الميكانيكي (أو الشاعل) على الطرف المفتوح من الهدف مما يجعل دائرة قصيرة مؤقتًا بين الكاثود والأنود. بعد إنشاء البقع القوسية ، يمكن توجيهها بواسطة المجال المغناطيسي أو التحرك بشكل عشوائي في غياب المجال المغناطيسي.

Aksenov ربع القطر طارة مرشح فلتر الجسيمات باستخدام المبادئ البصرية البلازما التي تم تطويرها من قبل AI Morozov

تحتوي الحزمة البلازمية من مصدر Arc الكاثودي على بعض العناقيد الكبيرة من الذرات أو الجزيئات (ما يسمى بالجسيمات الكلية) ، والتي تمنعها من أن تكون مفيدة لبعض التطبيقات دون نوع من الترشيح. هناك العديد من التصاميم لمرشحات الجسيمات الكلية ويستند التصميم الأكثر دراسة على العمل من قبل II Aksenov وآخرون. في سبعينيات القرن العشرين. وهو يتألف من قناة ربع حلزونية عازمة على 90 درجة من مصدر القوس ويتم توجيه البلازما من القناة بمبدأ بصريات البلازما.

وهناك أيضًا تصميمات أخرى مثيرة للاهتمام مثل التصميم الذي يشتمل على فلتر مجرى هواء مستقيم مدمج مع كاثود على شكل مخروط مجدول كما أبلغ عنه DA Karpov في التسعينات. أصبح هذا التصميم شائعًا جدًا بين كل من طبقة رقيقة من مواد التلبيد والباحثين في روسيا ودول الاتحاد السوفييتي السابقة حتى الآن. ويمكن تحويل مصدر القوس الكاثودي إلى شكل أنبوبي طويل (قوس ممتد) أو شكل مستطيل طويل ، لكن كلا التصاميم أقل شعبية.

يرجى استشارة Royal Technology لطلبك وتطبيقاتك. يشرف فريقنا أن نخدمك بشغفنا وتقنيتنا.

حانة وقت : 2018-08-10 15:48:12 >> أخبار قائمة ميلان إلى جانب
تفاصيل الاتصال
SHANGHAI ROYAL TECHENOLOGY INC.

الهاتف :: 86-21-37635838

الفاكس: 86-21-67740022

إرسال استفسارك مباشرة لنا (0 / 3000)